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真空热预处理在平板摄像管CdSe多层靶面制作中的作用 被引量:1
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作者 吕永积 邵佑军 +2 位作者 黄庆云 蔡东山 施化芬 《液晶与显示》 CAS CSCD 2003年第4期286-289,共4页
为了研制用于真空微电子平板摄像管(FPC)的具有高感光度的CdSe多层光导材料,发展了包括真空热预处理(VHPT)和非真空热后处理(NAHT)在内的新型热处理工艺。重新装配的蒸发设备和具有结晶和氧化功能的新型炉具满足两种热处理工艺并同其他... 为了研制用于真空微电子平板摄像管(FPC)的具有高感光度的CdSe多层光导材料,发展了包括真空热预处理(VHPT)和非真空热后处理(NAHT)在内的新型热处理工艺。重新装配的蒸发设备和具有结晶和氧化功能的新型炉具满足两种热处理工艺并同其他工艺一起可制造出新的高性能的CdSe多层光导靶。实验结果表明,CdSe多层光导靶的灵敏度提高,而清晰度(分辨率)保持不变,介绍了与VHPT工艺有关的实验结果。 展开更多
关键词 真空热预处理 平板摄像管 CDSE 多层光导材料 硒化镉 多层靶面 制作工艺
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靶面淀积参数对真空微电子平板摄像管特性的影响 被引量:2
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作者 吕永积 邵佑军 +1 位作者 刘光诒 施化芬 《液晶与显示》 CAS CSCD 2002年第4期265-269,共5页
为了开发用于真空微电子平板摄像管的高灵敏度CdSe多层光导材料 ,改建了一台能精确控制CdSe材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空蒸镀设备 ,开发了由真空热预处理 ,非真空热后处理二种处理新工艺 ,制造出了新的高性能的CdSe多层光导... 为了开发用于真空微电子平板摄像管的高灵敏度CdSe多层光导材料 ,改建了一台能精确控制CdSe材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空蒸镀设备 ,开发了由真空热预处理 ,非真空热后处理二种处理新工艺 ,制造出了新的高性能的CdSe多层光导靶。使CdSe多层光导靶的灵敏度提高了两个数量级 ,而清晰度 (分辨率 )保持不变。 展开更多
关键词 靶面淀积参数 真空微电子平板摄像管 真空热预处理 真空处理 CDSE 硒化镉 多层光导靶
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用于平板摄像的CdSe靶面淀积参数对摄像特性的影响
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作者 吕永积 刘光诒 +1 位作者 邵佑军 施化芬 《科学技术与工程》 2002年第1期59-60,共2页
为了开发用于真空微电子平板摄像管 Vacuum Microelectronics FlatPanel Camera Tube(VME FPC)的高灵敏度 CdSe 多层光导靶面,改建了一台精确控制 CdSe 材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空热蒸镀设备,开发了由真空热预处理,非真空... 为了开发用于真空微电子平板摄像管 Vacuum Microelectronics FlatPanel Camera Tube(VME FPC)的高灵敏度 CdSe 多层光导靶面,改建了一台精确控制 CdSe 材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空热蒸镀设备,开发了由真空热预处理,非真空热后处理组成的系列新处理工艺,制造出了新的高性能的 CdSe多层光导靶。 展开更多
关键词 真空热预处理VHPT 真空处理NHAT 平板摄像管 摄像特性 淀积参数 CdSe多层光导靶面 处理工艺
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Effects of vacuum pre-oxidation process on thermally-grown oxides layer of CoCrAlY high temperature corrosion resistance coating
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作者 韩玉君 朱志莹 +2 位作者 李晓泉 申赛刚 叶福兴 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第10期3305-3314,共10页
The influence of the certain specific vacuum pre-oxidation process on the phase transformation of thermally-grown oxides(TGO) was studied.The CoCrAlY high temperature corrosion resistance coatings were produced onto... The influence of the certain specific vacuum pre-oxidation process on the phase transformation of thermally-grown oxides(TGO) was studied.The CoCrAlY high temperature corrosion resistance coatings were produced onto the nickel-based superalloy substrate by high velocity oxygen fuel(HVOF).It suggests that the TGO usually consists of a great number of chromium oxides,cobalt oxides and spinel oxides besides alumina during the initial period of the high temperature oxidation if the specimens are not subjected to the appropriate vacuum pre-oxidation process.Furthermore,the amount of alumina is strongly dependent on the partial pressure of oxygen;while the CoCr2O4 spinel oxides are usually formed under the conditions of higher partial pressure of oxygen during the initial period and the lower partial pressure of oxygen during the subsequent period of the isothermal oxidation.After the appropriate vacuum pre-oxidation process,the TGO is mainly composed of alumina that contains lower Y element,while alumina that contains higher Y element sporadically distributes,and the spinel oxides cannot be found.After a longer period of the isothermal oxidation,a small amount of porous CoCr2O4 and the chrome oxide sporadically distribute near the continuous alumina.Additionally,after the appropriate vacuum pre-oxidation process,the TGO growth rate is relatively slow. 展开更多
关键词 vacuum pre-oxidation process thermally-grown oxides(TGO) high velocity oxygen fuel(HVOF) spinel oxides
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