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题名选择性无电解镀铜在PET膜表面上构筑微铜图案
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作者
杨军
吴仲岿
李少英
唐红肖
叶立刚
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机构
武汉理工大学材料科学与工程学院
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出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第3期26-28,43,共4页
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基金
国家自然科学基资助项目(50973087/E0310)
中央高校基本科研业务费专项资金资助
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文摘
采用波长为172nm的紫外光使PET膜表面官能化,然后自组装APTES单分子膜(SAMs),再在真空条件下通过紫外光刻蚀对PET膜表面的SAMs进行微加工,最后进行选择性无电解镀铜处理。通过测量水接触角和XPS分析,表征了PET膜经各步处理后的表面状态,并观察了镀铜后的微铜图案。结果表明:紫外光照使PET基材表面改性,通过紫外光刻蚀技术,对SAMs的微加工可以控制铜在PET表面选择性沉积,从而一次性制备出保真性较好的微米级镀铜图案。
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关键词
PET膜
图案化
选择性镀铜
真空紫外光刻蚀
无电解镀
SAMS
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Keywords
PET films
patterned
selectivity coppering
vacuum ultraviolet lithography etching
electroless plat ing
SAMs
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分类号
TQ153.14
[化学工程—电化学工业]
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