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蒸镀法制备ZnS光学薄膜研究 被引量:3
1
作者 黄剑锋 王艳 +2 位作者 曹丽云 吴建鹏 贺海燕 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第A01期490-492,共3页
采用真空蒸镀法在Si(111)基板上制备了ZnS光学薄膜,并系统研究了蒸发温度、沉积时间、基板距蒸发源的位置等因素对所制备薄膜物相及显微结构的影响。用X-射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)对制备的薄膜进行了表征。结果表明:制备薄膜的... 采用真空蒸镀法在Si(111)基板上制备了ZnS光学薄膜,并系统研究了蒸发温度、沉积时间、基板距蒸发源的位置等因素对所制备薄膜物相及显微结构的影响。用X-射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)对制备的薄膜进行了表征。结果表明:制备薄膜的物相主要以β-ZnS闪锌矿(Sphalerite)为主,并有少量的α-ZnS纤锌矿(Wurtzite),薄膜具有(111)结晶取向的生长特征。当沉积温度为1200℃时,所制备薄膜的结晶性能较好,随沉积时间延长,薄膜的结晶性能降低。 展开更多
关键词 ZNS薄膜 真空蒸镀法 发温度
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锗掺杂真空蒸镀基板距离对多晶硅薄膜的影响
2
作者 杨萍 王宙 +1 位作者 付传起 张庆乐 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2014年第7期33-35,7,共3页
在真空蒸镀多晶硅薄膜中掺入杂质可改善膜的微结构及电特性,目前有关基板距离对所得膜层的影响研究不多。采用真空蒸镀掺杂锗的方法制备出多晶硅薄膜;通过扫描电镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪等研究了基板距离对掺锗多晶硅薄膜的组织、... 在真空蒸镀多晶硅薄膜中掺入杂质可改善膜的微结构及电特性,目前有关基板距离对所得膜层的影响研究不多。采用真空蒸镀掺杂锗的方法制备出多晶硅薄膜;通过扫描电镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪等研究了基板距离对掺锗多晶硅薄膜的组织、形貌、晶粒尺寸及晶化率的影响。结果表明:随着基板距离的增大,薄膜的晶粒尺寸和晶化率均呈现出先增大后减小的相似趋势;当基板距离为90 mm时,晶粒尺寸显著增大,最大达到0.8μm左右,多晶硅薄膜晶粒形貌、结构性能最好,且具有较高的结晶度,薄膜的晶化率最高可达到85.10%。 展开更多
关键词 真空蒸镀法 多晶硅薄膜 组织 形貌 晶粒尺寸 基板距离 锗掺杂 晶化率
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基于SPR生物传感器的抗菌中药药效评价方法研究 被引量:2
3
作者 张鹤林 张国龙 +1 位作者 张康 汪灿华 《电子器件》 CAS 北大核心 2015年第1期67-69,共3页
目的为抗菌中药药效进行实时检测,对药效评价给出定量分析。方法系采用真空热蒸镀法镀金属银膜制作出一种光纤SPR生物传感器,感测抗菌中药作用过程中抗原与抗体各个参数变化,为药效评价提供数据依据。该传感器的应用具有快速、客观、准... 目的为抗菌中药药效进行实时检测,对药效评价给出定量分析。方法系采用真空热蒸镀法镀金属银膜制作出一种光纤SPR生物传感器,感测抗菌中药作用过程中抗原与抗体各个参数变化,为药效评价提供数据依据。该传感器的应用具有快速、客观、准确、高效的实时检测功能,为抗菌中药药效定量评价提供了依据。光纤SPR生物传感器的应用为抗菌中药药效评价给出了定量依据,有望最终用于指导临床准确应用抗菌中药。 展开更多
关键词 SPR生物传感器 中药 真空 药效评价
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有机半导体薄膜三极管的研制 被引量:11
4
作者 王东兴 朱敏 +1 位作者 工藤一浩 田中国昭 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期645-650,共6页
采用真空蒸镀法和有机半导体材料酞菁铜 ,制作 Au/ Cu Pc/ Al/ Cu Pc/ Au三明治结构的肖特基型栅极有机静电感应三极管 .该三极管导电沟道垂直于 Cu Pc薄膜 ,与采用 MOSFET结构的有机薄膜三极管相比导电沟道大幅缩短 ,有利于克服有机半... 采用真空蒸镀法和有机半导体材料酞菁铜 ,制作 Au/ Cu Pc/ Al/ Cu Pc/ Au三明治结构的肖特基型栅极有机静电感应三极管 .该三极管导电沟道垂直于 Cu Pc薄膜 ,与采用 MOSFET结构的有机薄膜三极管相比导电沟道大幅缩短 ,有利于克服有机半导体电学性能的缺点 .实验结果表明 ,该三极管驱动电压低 ,呈不饱和电流 -电压特性 .其工作特性依赖于栅极电压和梳状铝电极的结构 .通过合理设计、制作梳状铝电极 ,获得了良好的三极管静态。 展开更多
关键词 薄膜三极管 酞菁铜 有机半导体 真空 真空蒸镀法
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Cu_2O/C_(60)梯度薄膜的制备 被引量:6
5
作者 张继成 唐永建 +1 位作者 吴卫东 黄勇 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期587-590,共4页
功能梯度材料应用前景广阔 ,特别在 ICF研究中 ,梯度靶是一种重要的基础 -基准靶。以Cu2 O和 C60 为原料 ,用真空蒸镀法在石英基底上制备了 Cu2 O/C60 梯度薄膜 ,并用 XPS,AFM,紫外光谱仪对其成份分布、表面形貌、紫外吸收谱进行了测试... 功能梯度材料应用前景广阔 ,特别在 ICF研究中 ,梯度靶是一种重要的基础 -基准靶。以Cu2 O和 C60 为原料 ,用真空蒸镀法在石英基底上制备了 Cu2 O/C60 梯度薄膜 ,并用 XPS,AFM,紫外光谱仪对其成份分布、表面形貌、紫外吸收谱进行了测试。测量结果表明 ,薄膜的组成沿厚度方向呈连续梯度变化 。 展开更多
关键词 梯度薄膜 Cu2o/C60混合膜 ICF 功能材料 梯度靶 真空蒸镀法 光谱分析
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TeO_x薄膜结构及短波长静态记录特性的研究 被引量:3
6
作者 李青会 顾冬红 干福熹 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期468-472,共5页
以真空蒸镀法在 K9玻璃基底上制备了 Te Ox 单层薄膜 .使用 X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪 (XRD)、原子力显微镜 (AFM)对薄膜的结构进行了分析 .实验结果表明 ,薄膜是由晶态 Te分散在非晶态 Te O2 基体中形成的混合体系 ,Te O2 ... 以真空蒸镀法在 K9玻璃基底上制备了 Te Ox 单层薄膜 .使用 X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪 (XRD)、原子力显微镜 (AFM)对薄膜的结构进行了分析 .实验结果表明 ,薄膜是由晶态 Te分散在非晶态 Te O2 基体中形成的混合体系 ,Te O2 基体的存在增强了Te的抗氧化性能 ;薄膜具有精细粒状结构和粗糙的表面 ;退火后薄膜的反射率增加和 Te向表面的偏析、重聚集及表面粗糙度的降低有关 .采用波长为 51 4.4nm的短波长静态记录仪对薄膜静态记录性能的测试结果表明 :薄膜具有良好的记录灵敏性 ,在记录功率 1 .5m W、脉宽50 ns时就可产生较高的反射率衬比 (度 ) .研究结果为选择合适掺和物使 Te Ox 展开更多
关键词 TeOx薄膜 静态记录 高密度光存储 真空蒸镀法 XPS XRD AFM
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金刚石表面的金属化 被引量:4
7
作者 王岚 高学绪 《北京科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期462-466,共5页
用真空蒸镀法在金刚石表面镀覆Ti层,并经扩散处理使金刚石表面形成TiC膜,实现了金刚石表面的金属化.X射线衍射分析证实了TiC的存在,利用XPS定量分析验证了在金刚石表面碳原子与钛镀层之间的反应扩散模型.经表面金属化的金刚石烧结... 用真空蒸镀法在金刚石表面镀覆Ti层,并经扩散处理使金刚石表面形成TiC膜,实现了金刚石表面的金属化.X射线衍射分析证实了TiC的存在,利用XPS定量分析验证了在金刚石表面碳原子与钛镀层之间的反应扩散模型.经表面金属化的金刚石烧结体的力学性能测试表明。 展开更多
关键词 金刚石 金属化 烧结 表面处理 真空蒸镀法
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Cr沉积TiO_2复合薄膜的制备及其可见光催化性能 被引量:2
8
作者 白爱英 梁伟 +1 位作者 郑耿乐 薛晋波 《北京工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期305-309,共5页
真空蒸镀法结合溶胶凝胶法成功制备Cr沉积TiO2三层复合薄膜.通过XRD、SEM、UV-vis等手段表征沉积Cr后的TiO2薄膜的结构、可见光吸收性能,以亚甲基蓝溶液为目标物评定其可见光光催化活性.结果表明:该法制备的Cr沉积TiO2复合薄膜,在723 K... 真空蒸镀法结合溶胶凝胶法成功制备Cr沉积TiO2三层复合薄膜.通过XRD、SEM、UV-vis等手段表征沉积Cr后的TiO2薄膜的结构、可见光吸收性能,以亚甲基蓝溶液为目标物评定其可见光光催化活性.结果表明:该法制备的Cr沉积TiO2复合薄膜,在723 K热处理后,蒸镀的金属层仍然为金属Cr,823 K时被氧化为Cr2O3.不同温度热处理后Cr沉积的TiO2复合薄膜在可见光区均表现出良好的光吸收性.而且随着热处理温度的升高,光吸收性能明显增强.降解实验表明,823 K热处理后的薄膜样品光催化性能最好.在可见光光照射2 h后,对亚甲基蓝溶液降解率接近40%. 展开更多
关键词 溶胶凝胶 真空蒸镀法 Cr沉积 复合薄膜 可见光催化活性
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Sb掺和对TeO_x薄膜光学和静态记录特性的影响 被引量:1
9
作者 李青会 干福熹 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第11期1421-1424,共4页
以真空蒸镀法在 K9玻璃基底上制备了 Te Ox∶ Sb单层薄膜 ,对薄膜的结构、光学和静态记录特性进行了研究 .结果表明 ,Sb掺和后 Te Ox 薄膜的结构、反射光谱和光学常量均发生了明显变化 .Te Ox∶Sb薄膜具有良好的写入灵敏性并具有了一定... 以真空蒸镀法在 K9玻璃基底上制备了 Te Ox∶ Sb单层薄膜 ,对薄膜的结构、光学和静态记录特性进行了研究 .结果表明 ,Sb掺和后 Te Ox 薄膜的结构、反射光谱和光学常量均发生了明显变化 .Te Ox∶Sb薄膜具有良好的写入灵敏性并具有了一定的可擦除性能 。 展开更多
关键词 TeOx:Sb薄膜 静态记录 光存储 真空蒸镀法 薄膜制备 光学特性 结构 氧化物薄膜
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固溶体半导体碲硫锌多晶薄膜的制备及发光特性研究
10
作者 李莹 孙汪典 唐振方 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期349-352,共4页
ZnS1 xTex薄膜具有高效的发光特性。样品可观测到强烈的光致发光,随着Te含量x的不同,发射光的颜色从深蓝到黄变化,使其成为制作短波长光波段光电子器件和紫外探测器的理想材料。本文介绍了ZnS1 xTex多晶薄膜真空蒸发制备的情况,并用X射... ZnS1 xTex薄膜具有高效的发光特性。样品可观测到强烈的光致发光,随着Te含量x的不同,发射光的颜色从深蓝到黄变化,使其成为制作短波长光波段光电子器件和紫外探测器的理想材料。本文介绍了ZnS1 xTex多晶薄膜真空蒸发制备的情况,并用X射线衍射仪对淀积在玻璃、石英玻璃和单晶硅衬底上的多晶薄膜进行结构分析,用紫外可见分光光度计、荧光光谱分析仪对样品的光吸收和发光性质进行研究。分析表明,该薄膜的结构符合闪锌矿的特征。紫外可见吸收光谱显示该样品在紫外光区有一个强烈的吸收峰,可见光区的吸收很微弱。光致发光光谱表明,样品在可见光区有一个以470nm为中心的发射峰,发射光肉眼可见。该多晶薄膜基本保持了单晶薄膜的紫外吸收、光致发光等良好特性。 展开更多
关键词 固溶体半导体 ZnS1-xTex多晶薄膜 真空蒸镀法 光致发光性能 碲硫锌多晶薄膜
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PbTe薄膜及单晶的电磁特性研究
11
作者 姜振益 张方辉 牟强 《陕西科技大学学报(自然科学版)》 2000年第4期4-6,共3页
采用布里奇曼法在 Ar气气氛中于石英坩锅内合成了 Pb Te单晶 ,并运用真空蒸镀法制成了其多晶薄膜 ,测试了它们的伏安特性、热电特性、光电导效应 .实验发现 :所合成的 Pb Te单晶是 P型半导体 ,对可见光较敏感 ;Pb Te薄膜及单晶的温差电... 采用布里奇曼法在 Ar气气氛中于石英坩锅内合成了 Pb Te单晶 ,并运用真空蒸镀法制成了其多晶薄膜 ,测试了它们的伏安特性、热电特性、光电导效应 .实验发现 :所合成的 Pb Te单晶是 P型半导体 ,对可见光较敏感 ;Pb Te薄膜及单晶的温差电动势具有相同的数量级 ,均具有显著的热电效应 . 展开更多
关键词 PBTE 薄膜 单晶 布里奇曼 真空蒸镀法
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薄膜铝栅极有机半导体静电感应三极管的试制及动作特性
12
作者 王东兴 《大连铁道学院学报》 2003年第3期33-36,共4页
试制的有机静电感应三极管采用真空蒸镀法和有机色素酞菁铜(CuPc),制成Au/CuPc/Al/CuPc/Au五层结构,制作的薄膜铝栅极有机静电感应三极管,在偏置电压为V_(DS)=3V,V_(GS)=0V时,静态动作电流I_(DS)=1.2×10^(-6)A/mm^2,动态小信号响... 试制的有机静电感应三极管采用真空蒸镀法和有机色素酞菁铜(CuPc),制成Au/CuPc/Al/CuPc/Au五层结构,制作的薄膜铝栅极有机静电感应三极管,在偏置电压为V_(DS)=3V,V_(GS)=0V时,静态动作电流I_(DS)=1.2×10^(-6)A/mm^2,动态小信号响应频率可达到1000Hz。实验结果表明,与采用MOS结构的CuPc有机薄膜三极管相比,该三极管驱动电压低,呈典型的静电感应三极管不饱和电流-电压特性。 展开更多
关键词 薄膜铝栅极有机半导体静电感应三极管 制作 动作特性 真空蒸镀法 有机色素 酞菁铜色素
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In_2O_3薄膜及纳米颗粒制备进展 被引量:8
13
作者 王廷富 潘庆谊 程知萱 《材料导报》 EI CAS CSCD 2001年第8期45-47,共3页
主要介绍了 In_2O_3薄膜及其纳米颗粒的制备方法和特点,并比较了它们的优缺点。
关键词 制备 三氧化二铟 薄膜 纳米颗粒 制备 真空 原子层取向生长 化学气相沉积液 溅射
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金银铜复合纳米线阵列的制备及其SERS效应研究 被引量:1
14
作者 徐大鹏 张松 杨巍 《西安工业大学学报》 CAS 2018年第5期481-486,共6页
传统的拉曼增强基底均匀性差,排列无序等缺点限制了表面增强拉曼散射的广泛应用,文中选取Rb_4Cu_(16)Cl_(13)I_7快离子导体薄膜,在4μA外加直流电场作用下,利用固态离子学方法和真空热蒸镀法,制备了厘米级金银铜复合纳米线阵列.利用扫... 传统的拉曼增强基底均匀性差,排列无序等缺点限制了表面增强拉曼散射的广泛应用,文中选取Rb_4Cu_(16)Cl_(13)I_7快离子导体薄膜,在4μA外加直流电场作用下,利用固态离子学方法和真空热蒸镀法,制备了厘米级金银铜复合纳米线阵列.利用扫描电子显微镜(SEM)观测金银铜复合纳米线阵列的表面形貌,利用能量色散光谱仪(EDS)测量金银铜复合纳米线的化学成分,并选取罗丹明6G水溶液作为检测拉曼增强性能的探针分子,利用拉曼光谱仪测量金银铜复合纳米线基底的拉曼增强能力.结果表明:制备的金银铜复合纳米结构呈竹节状生长,微观形貌具有长程有序和短程有序结构,纳米线直径分布范围为45~95nm;纳米线表面均匀分布着直径为?20nm左右的纳米颗粒,从而使得其表面具有很高的粗糙度;纳米线中金银铜的近似摩尔比为2∶3∶15;制备的金银铜复合纳米线阵列作为表面增强拉曼散射基底测量罗丹明6G溶液的极限浓度是10^(-14) mol·L^(-1). 展开更多
关键词 固态离子学方 真空 金银铜复合纳米线阵列 表面增强拉曼散射
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最近的等离子技术
15
作者 吕洪久 《化工新型材料》 CAS 1986年第1期27-29,36,共4页
最近出现了各种用干法制作材料的方法,例如,采用真空蒸镀法和溅射法制薄膜。但由于其成膜速度很慢,所以实用化受到限制。近来又出现了利用等离子技术制造薄膜的方法。为了避免离子对基板的伤害,又研究了仅用自由基离子,由光激发的办法... 最近出现了各种用干法制作材料的方法,例如,采用真空蒸镀法和溅射法制薄膜。但由于其成膜速度很慢,所以实用化受到限制。近来又出现了利用等离子技术制造薄膜的方法。为了避免离子对基板的伤害,又研究了仅用自由基离子,由光激发的办法制作薄摸。构成薄膜的要素是原子,如以其附着于基板上的形态分类,大致可分为三类:1.蒸镀;2.溅射;3.在气体和基板界面反应。现将这三种干法制膜技术分述如下。 展开更多
关键词 光激励 离子 反应 基板 等离子体蚀刻 等离子刻蚀 真空蒸镀法 半导体表面 功能材料 等离子技术 原子层 结晶性 CVD
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导电聚合物膜修饰的锂硫电池及其性能研究 被引量:2
16
作者 张会双 李向南 +2 位作者 田栓宝 董红玉 杨书廷 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第11期1646-1648,共3页
首次从电池工艺的角度考察聚吡咯(PPy)导电聚合物膜对锂硫电池电性能的影响。主要采用真空蒸镀-化学氧化法在锂硫电池复合正极材料正极片表面生成聚吡咯(PPy)导电聚合物膜,通过SEM、傅里叶红外线光谱分析仪(FTIR)分析确定了锂硫电池复... 首次从电池工艺的角度考察聚吡咯(PPy)导电聚合物膜对锂硫电池电性能的影响。主要采用真空蒸镀-化学氧化法在锂硫电池复合正极材料正极片表面生成聚吡咯(PPy)导电聚合物膜,通过SEM、傅里叶红外线光谱分析仪(FTIR)分析确定了锂硫电池复合正极材料正极片表面导电聚合物膜的存在。由该聚吡咯(PPy)导电聚合物膜修饰的正极片与未修饰的正极片分别组装成扣式锂硫电池进行电性能测试,发现:经导电聚合物膜修饰正极片组装电池与未修饰正极片组装电池相比充放电平台平稳,极化小,循环稳定性好。 展开更多
关键词 真空-化学氧化 锂硫电池 导电聚合物膜
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铍箔的制造技术及应用
17
作者 李玉兰 《国外稀有金属动态》 1991年第14期3-4,共2页
关键词 铍箔 热轧 直接轧制 真空蒸镀法
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太阳光伏发电
18
作者 崔容强 喜文华 +1 位作者 魏一康 张兰英 《中国建设动态(阳光能源)》 2005年第02M期65-69,共5页
关键词 太阳光伏发电 电极材料 真空蒸镀法 金属电极
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楔形金薄膜系统中的反常跳跃电导和隧道效应 被引量:2
19
作者 陶向明 夏阿根 叶高翔 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期239-243,共5页
采用真空蒸镀方法 ,利用液体衬底在沉积过程中的线性扩散过程 ,在玻璃表面制备出斜率仅为 10 - 5的楔形金薄膜逾渗系统 ,并用四引线方法测量了从该薄膜系统中得到的均匀无序金薄膜的导电特性 .实验结果表明 :和通常的平整薄膜逾渗系统相... 采用真空蒸镀方法 ,利用液体衬底在沉积过程中的线性扩散过程 ,在玻璃表面制备出斜率仅为 10 - 5的楔形金薄膜逾渗系统 ,并用四引线方法测量了从该薄膜系统中得到的均匀无序金薄膜的导电特性 .实验结果表明 :和通常的平整薄膜逾渗系统相比 ,该薄膜系统呈现更为强烈的跳跃电导和隧道效应 . 展开更多
关键词 楔形金薄膜系统 反常跳跃电导 隧道效应 真空蒸镀法 线性扩散过程 薄膜物理 逾渗系统
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Preparation and characterization of cubic lattice ZnS:Na films with(111) preferred orientation
20
作者 薛书文 陈健 邹长伟 《Optoelectronics Letters》 EI 2014年第3期206-208,共3页
ZnS:Na thin films with(111) preferred orientation were deposited on glass substrates by vacuum evaporation method.The as-prepared films were annealed in flowing argon at 400—500 °C to improve the film crystallin... ZnS:Na thin films with(111) preferred orientation were deposited on glass substrates by vacuum evaporation method.The as-prepared films were annealed in flowing argon at 400—500 °C to improve the film crystallinity and electrically activate the dopants.The structural,optical and electrical properties of ZnS:Na films are investigated by X-ray diffraction(XRD),photoluminescence(PL),optical transmittance measurements and the four-point probe method.Results show that the as-prepared ZnS:Na films are amorphous,and exhibit(111) preferred orientation after annealing at 400—500 °C.The PL emissions at 414 nm and 439 nm are enhanced due to the increase of the intrinsic defects induced by the thermal annealing.However,all the samples exhibit high resistivity due to the heavy self-compensation. 展开更多
关键词 择优取向 ZNS 薄膜 立方晶格 制备 表征 X-射线衍射 真空蒸镀法
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