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题名非侵入式无线无源MEMS眼压传感器
被引量:1
- 1
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作者
王军波
何超超
陈德勇
陈健
魏秋旭
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机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
中国科学院大学
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出处
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2018年第11期2787-2794,共8页
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基金
国家自然科学基金(61372054)
北京市自然科学基金(4152056)~~
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文摘
连续监测眼压对于辅助诊断与治疗青光眼疾病具有重要作用,现有的眼压传感器存在相对灵敏度较低、中心谐振频率较高、制作工艺难度大等问题。为了解决上述问题,该文提出一种基于MEMS的非侵入式无线无源型眼压传感器。该传感器为5层堆叠结构,采用Parylene作为柔性衬底层、铜作为电极层、PDMS作为介电层,其中电极层和介电层构成两个电感和两个电容,形成C-L-C-L串联谐振电路。通过MEMS平面工艺和热塑形方法制作成能够与眼球紧密贴合的曲面形状,这种设计方案能有效地解决传感器的制作工艺难度大等问题。实验结果表明:该眼压传感器的中心谐振频率降低到了40 MHz,相对灵敏度达到1028.57 ppm/kPa,能够分辨出最小50 Pa(0.375 mmHg)的眼压值变化,为实现长期、连续性地监测眼压提供了技术支持。
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关键词
MEMS
眼压传感器
无线无源
PARYLENE
聚二甲基硅氧烷
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Keywords
MEMS
IntraOcular Pressure (IOP) sensor
Wireless and passive
Parylene
PolyDiMethylSiloxane (PDMS)
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名可植入眼压微传感器
被引量:1
- 2
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作者
朱正罕
刘景全
邱可可
杨春生
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机构
上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2010年第6期1-3,7,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60876082)
上海市科委科技计划资助项目(0852nm06600)
上海市教委曙光计划资助项目(08SG13)
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文摘
对眼压进行长期、连续和实时的监测对于提高青光眼的诊治水平具有重要的意义。可植入眼压微传感器能够实现对眼压的长期连续监测。总结了国内外的可植入眼压微传感器技术;归纳了不同种类的可植入眼压微传感器的工作原理,并对不同的可植入眼压微传感器技术进行分类和比较;讨论了可植入眼压微传感器的各技术模块。
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关键词
可植入眼压微传感器
青光眼
微机电系统
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Keywords
implantable intraocular pressure(IOP) microsensor
glaucoma
MEMS
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分类号
TP332.3
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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