光纤传感器自动瞄准试件边缘测量系统

在小位移测量或材料的热膨胀系数测量中,用一种差动式光纤传感器瞄准试件的边缘。为了提高测量精度,用微机、接口、PZT 和直角棱镜组成闭环系统,实现零差法测量。直角棱镜跟踪位移用干涉仪测量。测量系统的跟踪瞄准精度优于0.1μm。