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矩阵码盘及其矩阵狭缝的检测
被引量:
1
1
作者
李桂霞
《应用光学》
CAS
CSCD
1997年第1期37-40,共4页
在介绍矩阵码盘的基础上,分析常规矩阵码盘和非常规矩阵码盘码道图案方向的确定方法,提出矩阵码盘码道(横向)间相应关系误差的检测方法─—角量比较法和线量比较法以及矩阵码盘码道(纵向)间、圈间关系误差的检测方法,阐述了矩阵...
在介绍矩阵码盘的基础上,分析常规矩阵码盘和非常规矩阵码盘码道图案方向的确定方法,提出矩阵码盘码道(横向)间相应关系误差的检测方法─—角量比较法和线量比较法以及矩阵码盘码道(纵向)间、圈间关系误差的检测方法,阐述了矩阵决缝间裂相相位关系、圈与圈之间关系误差的检测方法─—角量比较法和线量比较法,并分析不在同一刻划直径上的码间、圈间相位关系误差的检测方法,最后对测量误差进行了讨论。
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关键词
矩阵码盘
矩阵
狭缝
测量误差
计量器件
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职称材料
题名
矩阵码盘及其矩阵狭缝的检测
被引量:
1
1
作者
李桂霞
机构
中科院长春光机所
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
1997年第1期37-40,共4页
文摘
在介绍矩阵码盘的基础上,分析常规矩阵码盘和非常规矩阵码盘码道图案方向的确定方法,提出矩阵码盘码道(横向)间相应关系误差的检测方法─—角量比较法和线量比较法以及矩阵码盘码道(纵向)间、圈间关系误差的检测方法,阐述了矩阵决缝间裂相相位关系、圈与圈之间关系误差的检测方法─—角量比较法和线量比较法,并分析不在同一刻划直径上的码间、圈间相位关系误差的检测方法,最后对测量误差进行了讨论。
关键词
矩阵码盘
矩阵
狭缝
测量误差
计量器件
Keywords
matrix code disk, matrix slit, measurement error,testing
分类号
TB9 [机械工程—测试计量技术及仪器]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
矩阵码盘及其矩阵狭缝的检测
李桂霞
《应用光学》
CAS
CSCD
1997
1
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