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题名分部积分法之再探讨——矩阵积分法
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作者
胡永生
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机构
福建农业职业技术学院信息技术系
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出处
《福建教育学院学报》
2010年第2期113-114,共2页
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文摘
通过对分部积分法的再探讨,发现其中隐藏的规律性,总结出一种简便方法,从而简化几类特殊不定积分的计算过程。
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关键词
不定积分
分部积分法
矩阵积分法
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Keywords
Indefinite Integral
integration by parts
Matrix Integration
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分类号
O172
[理学—基础数学]
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题名基于矩阵积分法优化光刻部分相干成像模型
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作者
彭清维
陈德良
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机构
贵州师范学院
贵州大学
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出处
《贵州师范学院学报》
2016年第9期49-53,共5页
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基金
贵州省教育厅自然科学基金招标项目(黔教合KY字【2012】051号)
贵州省科技厅自然科学基金项目(黔科合J字【2013】2253号
+1 种基金
黔科合SY字【2014】3084号)
贵州师范学院校级学生科研项目(2014DXS114)
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文摘
基于矩阵积分法实现了Matlab对光刻部分相干二维成像的模拟,验证了Matlab编写的部分相干程序的可行性,加入了离焦对光刻分辨率的影响。通过建立部分相干光光刻仿真模型,并在二极照明方式下,对离焦对光刻成像的影响进行了模拟计算。结果表明,矩阵积分法降低了程序运算所用时间,微小的离焦对光刻部分相干成像影响巨大,必须考虑离焦对光刻分辨率造成的影响。
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关键词
光刻工艺
矩阵积分法
离焦
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Keywords
Photolithographic process
Matrix integral method
Defocus
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分类号
O439
[机械工程—光学工程]
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