降低石墨舟上下料机碎片率方法分析

针对石墨舟上下料机硅片传输的流程,分析产生碎片的部件、动作和原因,提出合理的改善方法,优化程序,并利用机器人和石墨舟检验吸盘和固定定位部件的安装精度,从而降低碎片率,提高设备运行的稳定性和良品率。