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题名石墨舟清洁等离子电源设计与控制
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作者
薛家祥
王一统
马财钰
金礼
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机构
华南理工大学机械与汽车工程学院
贵州民族大学物理与机电工程学院
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出处
《自动化与仪表》
2024年第6期21-24,30,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51875213)
广东省自然科学基金项目(2214050007061)
+1 种基金
贵州省省级科技计划项目(ZK[2022]198)
贵州省高等学校教学内容和课程体系改革项目(2021083)。
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文摘
针对现有的石墨舟清洁等离子体电源控制系统动态响应不及时,无法适应大功率调节范围和系统稳定性差的问题,提出了一种等离子体电源设计与控制方法,根据等离子电源的工作原理与负载特性,通过PFM&PSPWM混合调制的控制策略,改变执行频率和移相角,实现了对于多种等离子负载宽功率范围的适应性和全桥逆变的软开关,提高了系统的适应性和稳定性。基于TMS280049研制样机验证了方案的可行性,表明本设计具有实际应用价值。
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关键词
等离子体电源
石墨舟清洁
DSP
PFM&PSPWM混合调制
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Keywords
plasma power supply
graphite boat cleaning
DSP
PFM&PSPWM hybrid modulatin
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分类号
TN86
[电子电信—信息与通信工程]
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