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一种基于石英基板的功分器制备研究 被引量:1
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作者 梁广华 贾世旺 +4 位作者 兰宝岩 赵飞 徐亚新 龚孟磊 刘晓兰 《电子工艺技术》 2018年第4期198-200,222,共4页
石英基板在高频毫米波太赫兹频段具有介电常数低和损耗低等优点,但是石英基板电路尤其是薄石英基板电路的加工难度较大。利用薄膜电路加工技术在石英基板上加工出一款分路器。通过对石英基板威尔金森功分器的研究和制备,分析并解决了含... 石英基板在高频毫米波太赫兹频段具有介电常数低和损耗低等优点,但是石英基板电路尤其是薄石英基板电路的加工难度较大。利用薄膜电路加工技术在石英基板上加工出一款分路器。通过对石英基板威尔金森功分器的研究和制备,分析并解决了含电阻石英薄膜电路基板加工中电阻图形化、电阻退火热处理和划切工艺的难点,并提出了一些新的方法,对石英基板在高频微波电路领域的应用具有较好的借鉴意义。 展开更多
关键词 石英基板 薄膜电路 TaN电阻 高频微波电路 功分器
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利用形变媒质上小振幅声波理论研究石英基板上声表面波温度特性(英文) 被引量:1
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作者 罗中涌 曹明 +1 位作者 公勋 章德 《南京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期52-57,共6页
对于声表面波而言温度特性是非常重要的一个指标.而石英基板在表面波器件中应用广泛.当环境温度改变时,基板尺寸会发生变化,弹性系数和压电系数值也会发生变化,在考虑这些变化的基础上就可以考察声表面波器件的温度特性.这是通常的方法... 对于声表面波而言温度特性是非常重要的一个指标.而石英基板在表面波器件中应用广泛.当环境温度改变时,基板尺寸会发生变化,弹性系数和压电系数值也会发生变化,在考虑这些变化的基础上就可以考察声表面波器件的温度特性.这是通常的方法.但是,弹性系数和压电系数的温度系数其实参考了随温度变化的中间状态,而并非定义弹性系数和压电系数的参考温度时的状态.在某些场合下,由于温度变化会产生一个非均匀分布的形变,比如带电极的体波谐振器以及多层声表面波基板,上述方法就会失效.在其它的一些场合,如力和加速度传感器的情况,初始形变可能是由于外力或者加速度造成的.为了得到这些在形变媒质上小振幅声波的传播特性,一些学者从非线性方程发展出一套理论.按照这种理论,可以得到参考同一参考状态的弹性常数以及它们的温度系数.P.C.Y.Lee和Y.K.Yong[Journal of Applied Physics,1986,60:.2327]给出了一套完整的热形变媒质中小振幅振动的理论,并推导出了石英晶体弹性常数的一阶、二阶和三阶温度系数.他们成功地考察了石英体波谐振器的温度特性.在本文中,我们对LeeandYong的理论加以推广,引入了压电性.这样,该方法也可以用来分析具有强压电性的基板了.我们分析了石英基板上声表面波的温度特性.文中给出了ST-切,MD-切和K-切石英基板的计算结果.计算结果证明了该方法的有效性.当然新方法比传统的方法要复杂的多.因为该方法在理论上具有一般性,如果先计算出器件结构中初始应变的分布,它就可以顺利地来分析多层基板上声表面波或者是一些传感器的工作特性. 展开更多
关键词 石英基板 声表面波 温度特性
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基于JC-Z05石英的薄膜电路基板工艺适用性研究 被引量:1
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作者 张楠 王平 +3 位作者 何凯晨 王婷婷 赵炜 任联锋 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期49-54,共6页
为满足低损耗的设计需求,太赫兹微波组件中一般使用熔融石英基板。不同于光学系统对熔融石英材料的要求,应用于太赫兹等高频段微波组件的熔融石英基板材料不仅需要具备稳定的介电性能,还需要更优异的表面镀膜特性与电路图形、外形等加... 为满足低损耗的设计需求,太赫兹微波组件中一般使用熔融石英基板。不同于光学系统对熔融石英材料的要求,应用于太赫兹等高频段微波组件的熔融石英基板材料不仅需要具备稳定的介电性能,还需要更优异的表面镀膜特性与电路图形、外形等加工精度要求。本文基于薄膜电路制造工艺要求,针对JC-Z05石英基板膜层附着力、表面刻蚀精度、切割质量、粘接强度等关键工艺特性研究,并通过改进工艺参数,进一步优化JC-Z05石英基板工艺适用性,提升国产石英基板材料作为在太赫兹频段薄膜电路制备的可靠性。研究结果表明,国产化熔融石英基板,结合优化后的薄膜电路制作工艺,制作出的电路具有膜层附着力强、外形切割公差小以及粘接可靠性高的特点,可满足复杂宇航环境中的高可靠应用。这一工作可为后续熔融石英电路基板在太赫兹领域的应用提供参考。 展开更多
关键词 太赫兹 石英基板 薄膜电路
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免修整柔性金刚石砂轮的磨削性能研究 被引量:3
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作者 郭隐彪 黄元庆 梁锡昌 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第7期775-777,共3页
针对现有超大规模集成电路基板加工中存在的效率低问题 ,提出一种免除砂带张紧装置、消除砂带横向振动影响 ,达到柔性砂轮磨削效果的新型砂轮。新型砂轮结合了砂带磨削加工效率高、发热低的优点及砂轮磨削精度高和设备简单的条件 ,解决... 针对现有超大规模集成电路基板加工中存在的效率低问题 ,提出一种免除砂带张紧装置、消除砂带横向振动影响 ,达到柔性砂轮磨削效果的新型砂轮。新型砂轮结合了砂带磨削加工效率高、发热低的优点及砂轮磨削精度高和设备简单的条件 ,解决了集成电路基板高效磨削的问题。通过和树脂砂轮的对比实验表明 。 展开更多
关键词 柔性砂轮 石英基板 高效磨削 误差分析 磨削性能 超大规模集成电路
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一种基于共面波导的0.14THz低噪声放大器设计 被引量:1
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作者 康小克 邓贤进 陈樟 《太赫兹科学与电子信息学报》 2013年第3期332-335,共4页
为解决低噪声放大器设计中过渡电路的实现问题,对基于共面波导的波导-平面电路过渡形式进行改进和优化,设计了一种工作频率为0.14 THz,带宽10 GHz的低噪声放大器。通过仿真,得到了输入输出回波损耗小于-27 dB,插入损耗小于0.1 dB的结果... 为解决低噪声放大器设计中过渡电路的实现问题,对基于共面波导的波导-平面电路过渡形式进行改进和优化,设计了一种工作频率为0.14 THz,带宽10 GHz的低噪声放大器。通过仿真,得到了输入输出回波损耗小于-27 dB,插入损耗小于0.1 dB的结果。此种方法能够很好地实现信号在不同传输线形式间的转换,并得到了无源测试验证。 展开更多
关键词 低噪声放大器 共面波导 石英基板 0 14 THZ
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In-situ growth of silver nanostructure on quartz glass substrates 被引量:1
6
作者 易早 张建波 +5 位作者 牛高 陈艳 罗江山 吴卫东 易有根 唐永建 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2012年第2期312-318,共7页
Silver nanostructure compact aggregates on the surface of quartz glass substrates were synthesized by small gold seeds with the assistance of poly vinypyrrolidone (PVP) and irradiation of fluorescent lamp. The formati... Silver nanostructure compact aggregates on the surface of quartz glass substrates were synthesized by small gold seeds with the assistance of poly vinypyrrolidone (PVP) and irradiation of fluorescent lamp. The formation mechanism of silver nanostructure was proposed. The results show that both the PVP and the light irradiation are the keys to in-situ growth of silver nanostructure on quartz glass substrates. The silver nanostructure of the substrates which finally grow up to 150 nm after 20 h irradiation exhibits irregular shape, and some of nanoparticles stack to form bilayer. A new broad band appears in the absorption spectra of the substrates due to the interparticle dipole?dipole coupling of surface plasmon resonance response of the triangular silver nanoplate particles, which red shifts 600?800 nm as the particles grow up. The substrates have an emission band centered at 400 nm on their fluorescence spectra, and the fluorescence intensity shrinks as the average size of the silver nanostructure increases. The strongest SERS signal of SERS-active substrate is fabricated after 16 h. 展开更多
关键词 silver nanostrucatre seed-mediated method glass substrate surface plasmon resonance FLUORESCENCE surface enhanced Raman scattering
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