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单片扫描QCM阵列的封装及浸液中频率稳定性
被引量:
1
1
作者
石志松
朱惠忠
梁吴迪
《微纳电子技术》
CAS
2007年第7期400-403,共4页
研究了一种适用于液相化学和生物量检测的单片扫描式QCM阵列传感器,研究了器件的封装及其在液相条件下的工作稳定性。采用单边封闭的封装方式,研究了器件在单边触液条件下的工作特性。阵列器件采用扫描工作方式,分时激励阵列中的各单元...
研究了一种适用于液相化学和生物量检测的单片扫描式QCM阵列传感器,研究了器件的封装及其在液相条件下的工作稳定性。采用单边封闭的封装方式,研究了器件在单边触液条件下的工作特性。阵列器件采用扫描工作方式,分时激励阵列中的各单元器件依次进入谐振工作状态,使某一时刻仅有一个单元器件处在工作状态,避免了单元器件间的振动耦合。实验制作的单片扫描式QCM阵列传感器试验结果显示,阵列器件中各单元器件的气相平均频率稳定度达到±0.2×10-6/h,液相平均频率稳定度达到±0.4×10-6/h。
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关键词
石英微天平分析仪
阵列传感器
液相
扫描
生物传感器
下载PDF
职称材料
题名
单片扫描QCM阵列的封装及浸液中频率稳定性
被引量:
1
1
作者
石志松
朱惠忠
梁吴迪
机构
清华大学精密仪器系
深圳清华大学研究院
出处
《微纳电子技术》
CAS
2007年第7期400-403,共4页
文摘
研究了一种适用于液相化学和生物量检测的单片扫描式QCM阵列传感器,研究了器件的封装及其在液相条件下的工作稳定性。采用单边封闭的封装方式,研究了器件在单边触液条件下的工作特性。阵列器件采用扫描工作方式,分时激励阵列中的各单元器件依次进入谐振工作状态,使某一时刻仅有一个单元器件处在工作状态,避免了单元器件间的振动耦合。实验制作的单片扫描式QCM阵列传感器试验结果显示,阵列器件中各单元器件的气相平均频率稳定度达到±0.2×10-6/h,液相平均频率稳定度达到±0.4×10-6/h。
关键词
石英微天平分析仪
阵列传感器
液相
扫描
生物传感器
Keywords
QCM
sensor array
liquid phase
scanning
biosensors
分类号
TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
单片扫描QCM阵列的封装及浸液中频率稳定性
石志松
朱惠忠
梁吴迪
《微纳电子技术》
CAS
2007
1
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