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石英微机械陀螺自检功能的实现 被引量:1
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作者 朱振忠 张锐 +1 位作者 刘志宏 邓能 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第2期207-209,共3页
提出了一种石英微机械陀螺单机自检的方法,通过简单操作,可实现石英微机械陀螺在静止状态、固定转动状态和规律运动状态下的单机自检功能。通过方案原理分析和具体电路实测,分析了此方法的实用性和有效性,为已装备完成的系统检测和标定... 提出了一种石英微机械陀螺单机自检的方法,通过简单操作,可实现石英微机械陀螺在静止状态、固定转动状态和规律运动状态下的单机自检功能。通过方案原理分析和具体电路实测,分析了此方法的实用性和有效性,为已装备完成的系统检测和标定创造了条件,从而提高了系统的工作可靠性。 展开更多
关键词 石英微机械陀螺 单机自检 自检使能 自检电压增量
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石英微机械陀螺正交误差补偿研究
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作者 曾铭辉 李宏生 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2022年第10期27-31,共5页
由于石英微机械陀螺的敏感结构在加工制造时存在工艺缺陷,陀螺会产生耦合误差。耦合误差中与陀螺输出信号正交的误差信号称为正交误差,该误差在陀螺诸多误差中占据主导地位,会严重影响陀螺的测量结果。针对正交误差,简要分析了其产生原... 由于石英微机械陀螺的敏感结构在加工制造时存在工艺缺陷,陀螺会产生耦合误差。耦合误差中与陀螺输出信号正交的误差信号称为正交误差,该误差在陀螺诸多误差中占据主导地位,会严重影响陀螺的测量结果。针对正交误差,简要分析了其产生原因及对陀螺输出信号的影响,提出了一种适用于音叉式石英陀螺的正交校正方法——正交电压补偿法。对于正交电压补偿法,搭建了补偿系统进行了相应的仿真,并制作出样机进行实验。仿真和实验的结果表明该方法可以抑制石英陀螺检测通道的正交误差,零偏不稳定性由补偿前的108.088(°)/h降低到43.815(°)/h,降幅达59.46%,证明了正交电压补偿法的有效性。 展开更多
关键词 石英微机械陀螺 正交误差 补偿系统 零偏性能
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FMEA在石英微机械陀螺上的应用
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作者 杨华 《电子产品可靠性与环境试验》 2017年第2期63-67,共5页
通过对两种FMEA分析方法进行比较,找出了适合电子元器件进行FMEA分析的方法,并将这种过程FMEA方法应用在石英微机械陀螺的失效模式与影响分析中,为提高石英微机械陀螺的质量和可靠性提供了一种分析思路。
关键词 可靠性分析 失效模式与影响分析 石英微机械陀螺
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石英微机械振动陀螺振子的失效分析 被引量:3
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作者 荣丽梅 常嗣和 +1 位作者 姬红 阮世池 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期620-621,共2页
关键词 微机惯性器件 振动惯性技术 微电子技术 石英微机振动陀螺振子 晶体表面加工技术
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微机械陀螺仪的新进展及发展趋势 被引量:12
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作者 许昕 何杰 +1 位作者 王文 卜继军 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2014年第4期588-595,共8页
微机械陀螺仪是陀螺技术和微电子机械系统(MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。根据其工作原理和采用材料的不同,微机械陀螺可分为硅基微机械振动陀螺(Si-MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs)和悬浮转子式微机械陀螺等。该文介绍了微机械... 微机械陀螺仪是陀螺技术和微电子机械系统(MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。根据其工作原理和采用材料的不同,微机械陀螺可分为硅基微机械振动陀螺(Si-MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs)和悬浮转子式微机械陀螺等。该文介绍了微机械陀螺仪的主要参数指标和应用,对硅基微机械振动陀螺(Si-MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs)和悬浮转子式微机械陀螺的最新研究进展作了综合性报道,讨论了微机械陀螺未来的发展趋势。 展开更多
关键词 硅基微机陀螺 微机压电振动陀螺 石英微机械陀螺
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石英MEMS陀螺检测模块的测试方法研究
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作者 朱振忠 王清亮 +3 位作者 李世国 张锐 苏永川 蒋昭兴 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第5期692-694,698,共4页
提出了一种石英微机械(MEMS)陀螺检测模块的测试方法和测试系统方案。该方法仅将检测模块的输入/输出端口接入测试系统,无需其他位置的信号注入和引出,即可实现增益、相位、频带、阻尼等电路特性的测试和标定,适用于生产过程对检测模块... 提出了一种石英微机械(MEMS)陀螺检测模块的测试方法和测试系统方案。该方法仅将检测模块的输入/输出端口接入测试系统,无需其他位置的信号注入和引出,即可实现增益、相位、频带、阻尼等电路特性的测试和标定,适用于生产过程对检测模块的快速测试及研制过程对检测模块的性能分析。 展开更多
关键词 石英微机(MEMS)陀螺 检测模块 锁定放大器 等效输入信号
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QMEMS陀螺标度因数温度补偿方法研究 被引量:1
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作者 张琬琳 《南通职业大学学报》 2021年第3期80-84,共5页
为降低由陀螺标度因数引起的惯性导航系统误差,通过温度实验采集数据,采用几种不同的方法,针对石英音叉微机械陀螺仪(QMEMS)建立温度变化引起的标度因数误差漂移模型,对标度因数温度补偿进行研究。实验结果表明,人工神经网络对QMEMS标... 为降低由陀螺标度因数引起的惯性导航系统误差,通过温度实验采集数据,采用几种不同的方法,针对石英音叉微机械陀螺仪(QMEMS)建立温度变化引起的标度因数误差漂移模型,对标度因数温度补偿进行研究。实验结果表明,人工神经网络对QMEMS标度因数的补偿效果优于最小二乘法。 展开更多
关键词 石英音叉微机陀螺 标度因数 神经网络 最小二乘法 温度补偿
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