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光纤端面半反膜晶控镀制实践 被引量:1
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作者 陈建华 《光学仪器》 1999年第4期105-109,共5页
叙述了一个利用石英晶体膜厚控制系统在光纤端面镀制半反射膜的工艺探索过程,包括膜系设计、工艺参数的修正。简要介绍了光控与晶控的特点,以实例证明了特殊情况下低温镀膜的可行性。
关键词 光纤 石英晶控 膜系设计 低温镀膜 半反射膜
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红外线治疗仪中宽波段带通滤光片的研究 被引量:12
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作者 刘冬梅 刘爽 +2 位作者 付秀华 张静 何松霖 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期1-6,共6页
研究了一种用于红外线治疗仪的新型滤光片.该滤光片通过对红外线治疗仪光源所发出的光进行选择性滤波,能够降低部分波段光的承载能量,提高治疗仪的安全使用性能.针对红外线治疗仪对滤光片的使用要求,选择Ti3O5和SiO2作为高低折射率材料... 研究了一种用于红外线治疗仪的新型滤光片.该滤光片通过对红外线治疗仪光源所发出的光进行选择性滤波,能够降低部分波段光的承载能量,提高治疗仪的安全使用性能.针对红外线治疗仪对滤光片的使用要求,选择Ti3O5和SiO2作为高低折射率材料,采用电子束加热蒸发方式,配合离子辅助淀积技术,利用石英晶控控制法对膜层厚度进行监控,通过反复优化各项工艺参量,制备出在600~1 200nm波段平均透过率高于92%,300~550nm、1 270~2 000nm波段平均透过率低于2%的宽波段带通滤光片.研究中运用“拆分技术要求”的设计思想,对颜色片进行双面镀制,解决了单面膜层过厚难以制备的问题,降低了制备难度,易于批量生产.测试结果表明,该滤光片满足使用要求. 展开更多
关键词 带通滤光片 膜系设计 拆分技术要求 红外线治疗仪 电子束蒸发 离子辅助淀积技术 石英晶控制法
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