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组合式熔凝石英微透镜阵列-线列Yba_2Cu_3O_(7-δ)高温超导薄膜红外探测器的研究
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作者 张新宇 李保平 +2 位作者 易新建 何苗 赵兴荣 《量子电子学报》 CAS CSCD 1999年第5期452-459,共8页
采用准分子激光扫描消融法淀积YB32C23O7-δ高温超导薄膜，利用常规光刻工艺制备线列高温超导薄膜器件，采用离子束刻蚀制备与高温超导薄膜器件匹配的熔凝石英微透镜阵列，测试了微透镜／高温超导薄膜器件所构成的混合结构在1～5μm红... 采用准分子激光扫描消融法淀积YB32C23O7-δ高温超导薄膜，利用常规光刻工艺制备线列高温超导薄膜器件，采用离子束刻蚀制备与高温超导薄膜器件匹配的熔凝石英微透镜阵列，测试了微透镜／高温超导薄膜器件所构成的混合结构在1～5μm红外波段的几项重要的光响应特性． 展开更多
关键词 石英柱微透镜 红外探测器 高温超导薄膜
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