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石英部件在半导体领域应用及市场概览 被引量:1
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作者 左政 侯洁娜 +2 位作者 王珺 刘超 于跃东 《中国集成电路》 2023年第6期30-35,共6页
石英部件作为集成电路、光伏等高端制造工艺中广泛应用的关键零部件,对半导体等下游产业发展具有重要意义。本文介绍了石英部件在半导体领域的应用及全球市场的主要情况,分析了半导体领域石英部件应用的未来行业趋势。
关键词 石英 石英部件 半导体
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