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石英部件在半导体领域应用及市场概览
被引量:
1
1
作者
左政
侯洁娜
+2 位作者
王珺
刘超
于跃东
《中国集成电路》
2023年第6期30-35,共6页
石英部件作为集成电路、光伏等高端制造工艺中广泛应用的关键零部件,对半导体等下游产业发展具有重要意义。本文介绍了石英部件在半导体领域的应用及全球市场的主要情况,分析了半导体领域石英部件应用的未来行业趋势。
关键词
石英
石英部件
半导体
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职称材料
题名
石英部件在半导体领域应用及市场概览
被引量:
1
1
作者
左政
侯洁娜
王珺
刘超
于跃东
机构
中国电子信息产业发展研究院
出处
《中国集成电路》
2023年第6期30-35,共6页
文摘
石英部件作为集成电路、光伏等高端制造工艺中广泛应用的关键零部件,对半导体等下游产业发展具有重要意义。本文介绍了石英部件在半导体领域的应用及全球市场的主要情况,分析了半导体领域石英部件应用的未来行业趋势。
关键词
石英
石英部件
半导体
Keywords
quartz
quartz products
semiconductor
分类号
F42 [经济管理—产业经济]
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作者
出处
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1
石英部件在半导体领域应用及市场概览
左政
侯洁娜
王珺
刘超
于跃东
《中国集成电路》
2023
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