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误差综合测量的数字化码检仪
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作者 余光清 刘恩海 郝永杰 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期28-30,34,共4页
介绍了码检仪采用模拟量测量方式的原理、组成及存在的问题;提出了码检仪的数字化途径、原理和所有光栅检测参数的数字化测量,并对数字化测量进行了误差分析。通过对两种测量方式的比较,对数字化测量存在的问题提出了解决办法。
关键词 码检仪 数字化测量 误差测量 光栅 圆分度器件
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