超精密研抛及超声波研抛技术分析

本文介绍了研抛和超精密研抛技术,分析了研抛技术的发展过程和超精密研抛技术的发展现状,列举了几种超精密研抛方法,重点说明了超声波研抛的特点。最后分析了该技术的推广应用及其发展趋势。超精密研抛技术是提高加工表面质量有效的加工方法,与传统的研抛方法相比大大提高了加工效率。

变频向超精研抛技术

变频向超精研抛技木具有极高的运动平稳性,是新式高级超精加工技术。它改变传统超精加工的高频直线往复运动,逐渐变化振动频率方向,成为一种特殊的旋摆运动,具有经纬网纹高度均匀细密性及最佳光整加工轨迹。传统研磨轨迹是正弦曲线、周摆线、内摆线和外摆线轨迹。本技术加工轨迹是在作长幅次摆线为母轨迹上,又沿母轨迹作另一种长幅次摆线的子轨迹的复杂轨迹运动。加工质量比传统研磨加工质量高,加工效率也比传统研磨高15～60倍。此外,还具有光泽反射率低、无塌边、柔和优美的低表面粗糙度(Ra0.008μm)等特点。

光学零件可控柔体制造的理论基础与方法

非球面光学零件利于获得高品质光学特性和高质量图像效果,并使镜组小型化设计成为可能,在航空、航天、国防以及高科技民用领域应用越来越广泛。传统光学制造技术已经远远不能适应非球面光学零件的广泛需求,光学制造已开始向现代先进光学制造方向转变。对先进光学制造技术体系与基础理论进行探讨,将引领该领域的科学研究向纵深发展。通过总结分析非球面光学制造的发展历程,提出可控柔体制造(Controllable compliant tools,CCT)的概念。其关键共性理论基础包含:去除函数的成因与数学模型、多参数控制策略、4D数控技术和误差演变理论与控制技术和装备技术等。以磁流变抛光(Magnetorheological finishing,MRF)和离子束抛光技术(Ion beam figuring,IBF)为例对该理论和试验进行初步探讨,说明了可控柔体制造这一概念可以作为一种新的分类方法用于定义非球镜第三代加工技术,并且可能成为光学制造领域一种新的研究体系。