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题名氮化铝陶瓷的椭圆超声辅助固结磨粒抛光研究
被引量:2
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作者
李庚卓
吴勇波
汪强
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机构
南方科技大学
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出处
《航空制造技术》
CSCD
北大核心
2022年第8期64-68,75,共6页
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基金
科技部重点专项(2021YFF0700900)
国家自然科学基金(51975269)
深圳市科技计划(KQTD20170810110250357)。
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文摘
氮化铝陶瓷因其良好的导热性、与硅接近的热膨胀系数和优异的机械强度等优点,作为高集成度和高功率器件封装最理想的载板材料而广受关注,在航空航天、汽车、芯片和国防军工中有着良好的应用前景。目前使用最广泛的氮化铝陶瓷载板平坦化方法主要是研磨和抛光,然而其游离磨粒的特性导致了材料去除率偏低,加工效率遭遇瓶颈,此外,其磨浆中的化学物质也会造成环境成本的提高。为了进一步提高氮化铝陶瓷的抛光效率,解决环境不友好问题,首先采用陶瓷结合剂固结磨粒磨具开展氮化铝陶瓷的干式固结磨粒抛光试验,结果表明,固结磨粒抛光可以获得更高的材料去除率,但排屑困难会导致表面完整性的恶化。针对这一情况,随后采用了在干式抛光过程中对磨具施加椭圆超声振动的方法,试验结果证明椭圆超声振动对排屑有促进作用,有利于提高抛光质量和材料去除效率。
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关键词
氮化铝陶瓷
研磨和抛光
固结磨粒抛光
超声辅助加工
椭圆超声振动
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Keywords
AlN ceramics
Lapping and polishing
Fixed-abrasive polishing
Ultrasonic assisted machining
Elliptic ultrasonic vibration
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分类号
TQ174.758.11
[化学工程—陶瓷工业]
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题名宝石加工机械手机械结构的设计与实现
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作者
陈炳忠
邓小林
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机构
梧州学院
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出处
《梧州学院学报》
2012年第3期36-39,共4页
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文摘
传统刻面宝石加工主要以手工加工为主,其精度主要由技术工人的经验和熟练程度来控制,自动化程度较低。针对上述不足,开发出一种能实现宝石全自动加工的宝石加工机械手。对该宝石加工工艺进行了介绍,对该机械手的结构组成进行了详细阐述。经过样机测试表明,该机械手能实现宝石的研磨和抛光的全自动操作,加工出来的产品质量好、精度高,能达到预定的工作要求。
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关键词
宝石加工
机械手
研磨和抛光
全自动化
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Keywords
gemstone processing
manipulator
grinding and polishing
automation
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分类号
TH122
[机械工程—机械设计及理论]
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题名微量磨削加工
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作者
梁亢
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出处
《世界制造技术与装备市场》
1997年第S1期16-16,共1页
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文摘
微量磨削加工工艺可使表面粗糙度和公差达到亚微米和毫微米。例如,超精加工的表面粗糙度可达到0.012μm~0.025μm,或者甚至更小。最为典型的微量磨削加工包括以下这些工艺:如研磨、珩磨、精磨、超精加工、抛光、硅晶体切割以及砂带磨削。
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关键词
微量磨削
超精加工
表面粗糙度
硅晶片
轴承座圈
超精研磨
研磨和抛光
亚微米
硅晶体
砂带磨削
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分类号
TG580
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名免烧建筑装饰材料
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出处
《技术与市场》
1998年第12期9-9,共1页
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文摘
免烧建筑装饰材料该产品是最新研制成功的一类新型装饰材料。它的特点是:全由无机材料合成,不风化、不老化、无毒性、隔热阻燃;外观和大理石类似,表面光亮。色彩丰富,花纹自然,装饰效果好:具有一定耐磨性,表面硬度好,是替代木材、塑料和陶瓷的的理想产品;生产工...
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关键词
新型装饰材料
免烧
建筑装饰材料
生产工艺
研磨和抛光
表面硬度
人造板材
高温烧结
技术转让费
浮雕装饰
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分类号
TU564
[建筑科学—建筑技术科学]
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