期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
3
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
硅/玻璃键合技术在RF-MEMS开关制作中的应用
被引量:
2
1
作者
王培森
于映
+1 位作者
罗仲梓
彭慧耀
《微纳电子技术》
CAS
2007年第1期30-33,共4页
介绍了一种新的RF-MEMS开关制作工艺,利用静电键合技术将表面微加工工艺与体硅加工工艺结合在一起完成开关上下电极的组合;说明了如何在普通环境下进行图形对准;通过静电力的理论计算和键合试验,分析了铝台阶对硅/玻璃静电键合的影响,...
介绍了一种新的RF-MEMS开关制作工艺,利用静电键合技术将表面微加工工艺与体硅加工工艺结合在一起完成开关上下电极的组合;说明了如何在普通环境下进行图形对准;通过静电力的理论计算和键合试验,分析了铝台阶对硅/玻璃静电键合的影响,得出铝台阶厚度低于100nm时键合效果较好;对有无铝台阶时的静电键合电流特性进行比较,分析了硅/玻璃界面电荷分布及其运动情况,为RF-MEMS开关的设计与制作提供了有意义的参考。
展开更多
关键词
硅/玻璃
键合
电流特性
电荷分布
Al台阶
RF—MEMS开关
下载PDF
职称材料
反应离子深刻蚀中硅/玻璃结构footing效应的实验研究(英文)
被引量:
1
2
作者
丁海涛
杨振川
+1 位作者
张美丽
闫桂珍
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期1088-1093,共6页
针对反应离子深刻蚀中硅/玻璃键合结构的footing效应问题,用实验方法进行了研究.通过2~4和0.01~0.03Ω·cm两种不同电导率的硅结构过刻蚀的对比,以及对50,20和5μm三组不同间隙高度的器件结构过刻蚀的对比,揭示了单晶硅结构的电...
针对反应离子深刻蚀中硅/玻璃键合结构的footing效应问题,用实验方法进行了研究.通过2~4和0.01~0.03Ω·cm两种不同电导率的硅结构过刻蚀的对比,以及对50,20和5μm三组不同间隙高度的器件结构过刻蚀的对比,揭示了单晶硅结构的电导率及器件结构和玻璃衬底间隙高度对footing效应的影响.实验结果显示电导率为2 ~4Ω·cm的硅结构比电导率为0.01 ~0.03Ω·cm的硅结构footing效应严重;硅结构和玻璃衬底的间隙为5μm的比间隙为20和50μm的footing效应严重.对这一现象的理论分析认为,被刻蚀的硅的电导率越高,硅结构与玻璃衬底的间隙越大,footing效应越不明显.本文中不同电导率和不同间隙高度的实验对比结果可以为硅微传感器材料类型的选取和器件的优化设计提供参考.
展开更多
关键词
footing效应
硅/玻璃
键合
反应离子深刻蚀
下载PDF
职称材料
激光熔融键合在新型室温红外探测器的应用
被引量:
2
3
作者
杨道虹
徐晨
+4 位作者
董典红
金文贤
阳启明
张剑铭
沈光地
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
2004年第2期236-238,共3页
运用Nd:YAG激光在功率300W、光束运动速度为0.05m/s、光束直径为700μm的条件下能得到键合强度平均为9.3MPa的硅/玻璃熔融键合效果。该键合方法能进行选择区域键合,完全避免了由于键合过程中电场给超薄敏感可动微结构带来的畸变甚至失效...
运用Nd:YAG激光在功率300W、光束运动速度为0.05m/s、光束直径为700μm的条件下能得到键合强度平均为9.3MPa的硅/玻璃熔融键合效果。该键合方法能进行选择区域键合,完全避免了由于键合过程中电场给超薄敏感可动微结构带来的畸变甚至失效,为新型室温红外探测器的研制奠定了良好的工艺基础。
展开更多
关键词
MEMS
ND:YAG激光
硅/玻璃
键合
原文传递
题名
硅/玻璃键合技术在RF-MEMS开关制作中的应用
被引量:
2
1
作者
王培森
于映
罗仲梓
彭慧耀
机构
福州大学物理与信息工程学院
厦门大学萨本栋微机电研究中心
出处
《微纳电子技术》
CAS
2007年第1期30-33,共4页
基金
国家自然科学基金项目(60301006)
福建省科技重点项目资助(2005H029)
文摘
介绍了一种新的RF-MEMS开关制作工艺,利用静电键合技术将表面微加工工艺与体硅加工工艺结合在一起完成开关上下电极的组合;说明了如何在普通环境下进行图形对准;通过静电力的理论计算和键合试验,分析了铝台阶对硅/玻璃静电键合的影响,得出铝台阶厚度低于100nm时键合效果较好;对有无铝台阶时的静电键合电流特性进行比较,分析了硅/玻璃界面电荷分布及其运动情况,为RF-MEMS开关的设计与制作提供了有意义的参考。
关键词
硅/玻璃
键合
电流特性
电荷分布
Al台阶
RF—MEMS开关
Keywords
Si/glass bonding
current characteristic
charge distribution
Al steps
RF-MEMS switches
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
反应离子深刻蚀中硅/玻璃结构footing效应的实验研究(英文)
被引量:
1
2
作者
丁海涛
杨振川
张美丽
闫桂珍
机构
北京大学微电子学与固体电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期1088-1093,共6页
文摘
针对反应离子深刻蚀中硅/玻璃键合结构的footing效应问题,用实验方法进行了研究.通过2~4和0.01~0.03Ω·cm两种不同电导率的硅结构过刻蚀的对比,以及对50,20和5μm三组不同间隙高度的器件结构过刻蚀的对比,揭示了单晶硅结构的电导率及器件结构和玻璃衬底间隙高度对footing效应的影响.实验结果显示电导率为2 ~4Ω·cm的硅结构比电导率为0.01 ~0.03Ω·cm的硅结构footing效应严重;硅结构和玻璃衬底的间隙为5μm的比间隙为20和50μm的footing效应严重.对这一现象的理论分析认为,被刻蚀的硅的电导率越高,硅结构与玻璃衬底的间隙越大,footing效应越不明显.本文中不同电导率和不同间隙高度的实验对比结果可以为硅微传感器材料类型的选取和器件的优化设计提供参考.
关键词
footing效应
硅/玻璃
键合
反应离子深刻蚀
Keywords
footing effect
silicon on glass
deep reactive ion etching
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
激光熔融键合在新型室温红外探测器的应用
被引量:
2
3
作者
杨道虹
徐晨
董典红
金文贤
阳启明
张剑铭
沈光地
机构
北京工业大学电子信息与控制工程学院
出处
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
2004年第2期236-238,共3页
基金
北京市教委项目(No.KM200310005009)
文摘
运用Nd:YAG激光在功率300W、光束运动速度为0.05m/s、光束直径为700μm的条件下能得到键合强度平均为9.3MPa的硅/玻璃熔融键合效果。该键合方法能进行选择区域键合,完全避免了由于键合过程中电场给超薄敏感可动微结构带来的畸变甚至失效,为新型室温红外探测器的研制奠定了良好的工艺基础。
关键词
MEMS
ND:YAG激光
硅/玻璃
键合
Keywords
MEMS
Nd: YAG laser
silicon/glass
bonding
分类号
TN305.93 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅/玻璃键合技术在RF-MEMS开关制作中的应用
王培森
于映
罗仲梓
彭慧耀
《微纳电子技术》
CAS
2007
2
下载PDF
职称材料
2
反应离子深刻蚀中硅/玻璃结构footing效应的实验研究(英文)
丁海涛
杨振川
张美丽
闫桂珍
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
1
下载PDF
职称材料
3
激光熔融键合在新型室温红外探测器的应用
杨道虹
徐晨
董典红
金文贤
阳启明
张剑铭
沈光地
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
2004
2
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部