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用于制备硅LED的太阳能电池技术
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作者 杨广华 毛陆虹 +1 位作者 张彬 郭维廉 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第10期829-832,共4页
集成电路工艺发展使得芯片内部的互连成为芯片延时的主要问题。制备出高光效的硅LED已经成为OEIC发展的瓶颈。硅是间接带隙半导体,而且载流子寿命较长。所以使用硅材料制备发光器件是长久以来特别引人关注而又较难解决的问题。采取降低... 集成电路工艺发展使得芯片内部的互连成为芯片延时的主要问题。制备出高光效的硅LED已经成为OEIC发展的瓶颈。硅是间接带隙半导体,而且载流子寿命较长。所以使用硅材料制备发光器件是长久以来特别引人关注而又较难解决的问题。采取降低非辐射复合速率,增加辐射复合的机会可以实现硅LED的发光。介绍了用于制备硅LED的太阳能电池技术原理和主要方法,以及采用这一原理实现PERL硅电池和区熔硅衬底非晶硅电池用于制备LED的技术。 展开更多
关键词 电子集成电路 硅光发射器件 太阳能电池 钝化发射极、背面点扩散 非晶
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Simulation of a Silicon LED in Standard CMOS Technology 被引量:1
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作者 孙增辉 陈弘达 +2 位作者 毛陆虹 崔增文 高鹏 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期255-259,共5页
A reverse bias silicon p-n junction based on light emitting diode is designed in standard 0.6μm industrial CMOS technology.The mechanism of the light emitting of this device is discussed.The device is simulated by th... A reverse bias silicon p-n junction based on light emitting diode is designed in standard 0.6μm industrial CMOS technology.The mechanism of the light emitting of this device is discussed.The device is simulated by the commercial software.I-V characteristic under forward or reverse bias is simulated utilizing the commercial software.The results between simulation and experiment data are compared.The results show that it is a promising device and may find applications in light linking. 展开更多
关键词 reverse bias silicon p-n junction silicon based LED breakdown voltage CMOS
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