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硅光子器件及其集成技术的研究 被引量:1
1
作者 蔡进 张慧娟 +1 位作者 王成丽 陶智勇 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2012年第6期4-6,共3页
主要探讨了偏振分集光路、可调光衰减器、波导耦合型锗光电探测器等硅光器件的研究进展,分析了其结构及技术参数,随后探讨了VOA-PD单片集成技术以及VMUX单片集成技术两种硅基单片集成技术,指出硅光子器件的性能指标已经能满足现代光纤... 主要探讨了偏振分集光路、可调光衰减器、波导耦合型锗光电探测器等硅光器件的研究进展,分析了其结构及技术参数,随后探讨了VOA-PD单片集成技术以及VMUX单片集成技术两种硅基单片集成技术,指出硅光子器件的性能指标已经能满足现代光纤通信系统的要求。 展开更多
关键词 硅光器件 单片集成技术 纤通信系统
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多维复用硅基集成光子器件
2
作者 储涛 郭德汾 吴维轲 《中兴通讯技术》 2017年第5期30-33,共4页
从波长、模式、偏振几个维度的复用/解复用和路由出发,分别提出了新颖的器件设计方法并制作了相应的硅基光子器件,包括:阵列波导光栅器件(AWG)/刻蚀衍射光栅器件(EDG)、模式分离合束器件、偏振分离耦合光栅、偏振分离/分离旋转器件。AW... 从波长、模式、偏振几个维度的复用/解复用和路由出发,分别提出了新颖的器件设计方法并制作了相应的硅基光子器件,包括:阵列波导光栅器件(AWG)/刻蚀衍射光栅器件(EDG)、模式分离合束器件、偏振分离耦合光栅、偏振分离/分离旋转器件。AWG可以采用一步刻蚀简单工艺制作形成,EDG插损得到大幅降低,模式分离器件带宽增大,插损也得到降低,偏振分离耦合光栅的耦合效率得到有效提升,偏振分离/旋转器件的插损和带宽也被显著改进。以上器件全部符合互补金属氧化物半导体(CMOS)-180 nm工艺标准,这些器件的研制工作为多维度光波复用/解复用处理及传输提供了先进的器件技术保障。 展开更多
关键词 波长复用/解复用 模式复用/解复用 偏振控制 硅光器件
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硅基集成光电子器件的新进展 被引量:1
3
作者 王子龙 《电子技术与软件工程》 2014年第6期259-259,共1页
各种业务需求的增加以及光通信的发展推动了集成光电子器件的发展。为了能够构建容量更大,速率更快的光通信网络,各种交换系统也将面对更多的挑战,而集成光学器件在环境和医疗等各个领域的迅速应用对其提出了更高的要求。低价格的硅材... 各种业务需求的增加以及光通信的发展推动了集成光电子器件的发展。为了能够构建容量更大,速率更快的光通信网络,各种交换系统也将面对更多的挑战,而集成光学器件在环境和医疗等各个领域的迅速应用对其提出了更高的要求。低价格的硅材料以及硅基微纳技术的发展为实现高速光通信提供了支持。当前,硅基集成光电子器件正迈向智能化、小型化以及节约化等发展。对此,本文对硅基集成光电子器件的新进展进行了分析。 展开更多
关键词 电子器件 进展
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典型硅光敏器件特性的综合评述 被引量:2
4
作者 张君和 《上海半导体》 1991年第1期34-40,共7页
关键词 器件 电二极管 电三极管
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硅基微纳光电子器件的研究
5
作者 周宇 王孙晨 《通讯世界(下半月)》 2016年第9期244-244,共1页
由于硅基加工工艺目前发展较为成熟、硅基光电子元件的制造成本相对较低且具有较理想的光电混合继承性能,所以硅基光电子元件现阶段在光纤通信方面的应用较为普遍,特别是其向微纳米机电系统的深化,使其应用的空间更加广阔,在此背景下,... 由于硅基加工工艺目前发展较为成熟、硅基光电子元件的制造成本相对较低且具有较理想的光电混合继承性能,所以硅基光电子元件现阶段在光纤通信方面的应用较为普遍,特别是其向微纳米机电系统的深化,使其应用的空间更加广阔,在此背景下,本文以目前较为成功的几个关键硅基微纳光电子器件为例,针对硅基微纳光电子器件展开研究,为对其更加全面的认识做出努力。 展开更多
关键词 基微纳电子器件 电子元件 MEMS可调谐激
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硅基光功率监测技术的最新进展 被引量:1
6
作者 卫欢 余辉 +6 位作者 邵海峰 李霞 李燕 姜建飞 秦晨 叶乔波 江晓清 《光通信研究》 北大核心 2015年第6期20-29,共10页
随着集成光路复杂度的增加,需要在不影响系统正常工作的情况下,在链路内使用光功率监测器对集成光路进行实时监测,有效地进行器件行为分析。文章综述了硅基光功率监测器的最新研究进展。重点阐述了表面态吸收、双光子吸收、锗吸收以及... 随着集成光路复杂度的增加,需要在不影响系统正常工作的情况下,在链路内使用光功率监测器对集成光路进行实时监测,有效地进行器件行为分析。文章综述了硅基光功率监测器的最新研究进展。重点阐述了表面态吸收、双光子吸收、锗吸收以及缺陷态吸收机制下的光功率监测方案以及各自的优缺点,最后详细讨论了利用缺陷态吸收机制实现光电转换的巨大优势。 展开更多
关键词 电子器件 功率监测器 电探测器
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光电导型混晶Si_(1-x)Ge_x波导探测器 被引量:1
7
作者 庄婉如 郑有炓 +2 位作者 朱顺明 刘夏冰 黄永箴 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2000年第5期39-42,共4页
首次报导了光电导型混晶Si1-xGex 波导探测器。混晶Si1-xGex 是在硅基SiON/SiO2 /Si上用快速加热超低压化学气相淀积生长并经 6 50℃退火 30min得到的。探测器宽 10 μm ,长 2mm。探测器加上 2 0V偏置电压时 ,探测灵敏度在 0 0 2 2~ 0... 首次报导了光电导型混晶Si1-xGex 波导探测器。混晶Si1-xGex 是在硅基SiON/SiO2 /Si上用快速加热超低压化学气相淀积生长并经 6 50℃退火 30min得到的。探测器宽 10 μm ,长 2mm。探测器加上 2 0V偏置电压时 ,探测灵敏度在 0 0 2 2~ 0 0 10A/W之间。混晶Si1-xGex 造成探测器的光谱响应曲线发生蓝移。当锗组分x =0 35、 0 4、0 5、和 0 6时 ,探测器峰值波长分别对应为 875nm、 892nm、 938nm和 984nm。这种探测器有望能直接制作在硅基SiO2 波导元器件的尾端上 ,可用于光互连和光数据处理。 展开更多
关键词 电子器件 探测器 电子集成 半导体
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硅基集成光电子器件的新进展 被引量:12
8
作者 周治平 郜定山 +2 位作者 汪毅 陈金林 冯俊波 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2007年第2期31-38,共8页
综述了硅基微纳激光器、调制器、探测器及光传输控制器件的最新研究进展。重点阐述了表面等离子体、量子阱、光子晶体及纳米光栅等新型结构在提高器件综合性能和降低器件尺寸方面的重大作用。同时,还展示了用标准互补金属氧化物半导体(C... 综述了硅基微纳激光器、调制器、探测器及光传输控制器件的最新研究进展。重点阐述了表面等离子体、量子阱、光子晶体及纳米光栅等新型结构在提高器件综合性能和降低器件尺寸方面的重大作用。同时,还展示了用标准互补金属氧化物半导体(CMOS)技术,实现硅基光子器件和电子器件在同一基片上微纳集成的巨大前景。 展开更多
关键词 电子器件 微纳集成 调制器 探测器 纳米
原文传递
Simulation of a Silicon LED in Standard CMOS Technology 被引量:1
9
作者 孙增辉 陈弘达 +2 位作者 毛陆虹 崔增文 高鹏 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期255-259,共5页
A reverse bias silicon p-n junction based on light emitting diode is designed in standard 0.6μm industrial CMOS technology.The mechanism of the light emitting of this device is discussed.The device is simulated by th... A reverse bias silicon p-n junction based on light emitting diode is designed in standard 0.6μm industrial CMOS technology.The mechanism of the light emitting of this device is discussed.The device is simulated by the commercial software.I-V characteristic under forward or reverse bias is simulated utilizing the commercial software.The results between simulation and experiment data are compared.The results show that it is a promising device and may find applications in light linking. 展开更多
关键词 reverse bias silicon p-n junction silicon based LED breakdown voltage CMOS
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Applications of Acrylate-based Polymer and Silicone Resin on LPFG-based Devices 被引量:5
10
作者 何万迅 Shi Wenkang +3 位作者 Gong Xiangyang Ye Ailun GAO Kan Fang Zujie 《High Technology Letters》 EI CAS 2002年第2期31-34,共4页
Both acrylate based polymer and silicone resin are proposed as recoating materials surrounding LPFGs for purposes of different applications. For the LPFG recoated with a thin layer of acrylate based polymer, the range... Both acrylate based polymer and silicone resin are proposed as recoating materials surrounding LPFGs for purposes of different applications. For the LPFG recoated with a thin layer of acrylate based polymer, the range of wavelength shift as much as 60nm is expected when temperature changes from 0~100℃. As for that with surrounding material of silicone resin, the temperature stability is greatly improved depicted as the maximum wavelength shift of about 0.6nm with the same temperature variation. The former is potentially a broadband tunable band rejection filter or temperature sensor with enhanced sensitivity. And the latter could be applied as temperature insensitive filter, demultiplexer or strain sensor. 展开更多
关键词 long period fiber grating resonance wavelength wavelength tuning temperature compensation
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Silicon light emitting device in CMOS technology
11
作者 LIU Hai-jun GU Ming LIU Jin-bin HUANG Bei-ju CHEN Hong-da 《Optoelectronics Letters》 EI 2007年第2期85-87,共3页
A novel silicon light emitting device was realized with standard 0.35μm 2P4M Mixed Mode/RF CMOS technology. The device functions in a reverse breakdown mode and can be turned on at 8.3 V and operated normally at a wi... A novel silicon light emitting device was realized with standard 0.35μm 2P4M Mixed Mode/RF CMOS technology. The device functions in a reverse breakdown mode and can be turned on at 8.3 V and operated normally at a wide voltage range of 8.3 V-12.0 V. An output optical power of 13.6 nW was measured at the bias of 10 V and 100 mA, and the emitted light intensity was calculated to be more than 1 mW/cm2. The optical spectrum of the device is in the range of 500-820 nm. 展开更多
关键词 器件 CMOS技术 反向击穿模 输出功率
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Fluorinated polymer with high thermal stability for fabrication of 32-channel arrayed waveguide grating multiplexer on silicon
12
作者 王菲 李艾泽 +4 位作者 孙伟 衣茂斌 姜振华 刘式墉 张大明 《Journal of Central South University of Technology》 EI 2005年第4期366-369,共4页
A cross-linkable fluorinated poly (ether ether ketone) (FPEEK) was synthesized for the fabrication of arrayed waveguide grating (AWG) multiplexer. The results of thermal gravimetric analysis (TGA) and near-infrared ab... A cross-linkable fluorinated poly (ether ether ketone) (FPEEK) was synthesized for the fabrication of arrayed waveguide grating (AWG) multiplexer. The results of thermal gravimetric analysis (TGA) and near-infrared absorption spectrum show that the materials have high thermal stability and high optical transparency in the infrared communication region. The refractive index of FPEEK can be controlled easily by changing the fluorine content of the materials. The 32-channel AWG multiplexer is fabricated using the FPEEK and oxygen reactive ion etching technology. The AWG multiplexer exhibits that the insertion loss is from 12.8 to 17.8 dB and the channel crosstalk is less than-20 dB. The wavelength channel spacing and the center wavelength are 0.8nm and 1548nm, respectively. 展开更多
关键词 wavelength division multiplexing arrayed waveguide grating fluorinated polymer poly (ether ether ketone)
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西安交通大学微电子研究所
13
《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期44-44,共1页
关键词 西安交通大学微电子研究所 集成电路 半导体器件 电子器件
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光电耦合器件特性的研究
14
作者 易小月 张斌 李文启 《才智》 2009年第29期69-69,共1页
随着半导体技术和光电子学的发展,一种能有效地隔离噪音和抑制干扰的新型半导体器件——光电耦合器于1966年问世了。光电耦合器的优点是体积小、寿命长、无触点、抗干扰能力强、能隔离噪音、工作温度宽,输入输出之间电绝缘,单向传输信... 随着半导体技术和光电子学的发展,一种能有效地隔离噪音和抑制干扰的新型半导体器件——光电耦合器于1966年问世了。光电耦合器的优点是体积小、寿命长、无触点、抗干扰能力强、能隔离噪音、工作温度宽,输入输出之间电绝缘,单向传输信号及逻辑电路易连接等。光电耦合器按光接收器件可分为有硅光敏器件(光敏二极管、雪崩型光敏二极管、PIN光敏二极管、光敏三极管等)、光敏可控硅和光敏集成电路。 展开更多
关键词 电耦合器 器件 敏可控
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Defect Detection in Raw Si Substrates Using Transmission Polarimetry
15
作者 Matthew P. Peloso 《Journal of Energy and Power Engineering》 2014年第7期1341-1349,共9页
Inline characterization for fabrication of silicon wafer PV (photovoltaic) devices may be used to optimize device efficiencies, reduce their performance variance, and their cost of production. In this article, the f... Inline characterization for fabrication of silicon wafer PV (photovoltaic) devices may be used to optimize device efficiencies, reduce their performance variance, and their cost of production. In this article, the frozen in strain from a variety of extended defects in silicon is shown to effect the polarization of light transmitted through a silicon substrate due to the photo-elastic effect. Transmission polarimetry on pre-fabricated silicon substrates may be used for identification of extended defects in the materials using a polarization analysis instrument. Instrumentation is proposed for detection of defects in raw silicon wafers for applications like raw silicon wafer sorting, scanning silicon bricks, and inline inspection prior to solar cell metallization. Such analysis may assist with gettering of silicon solar cells, may be implemented in the sorting and rejection procedures in PV device fabrication, and in general shows advantages for detection of defects in silicon wafer solar cell materials and devices. 展开更多
关键词 Silicon wafer inline processing defect characterization solar power photovoltaic device instrumentation.
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基于马赫曾德尔干涉结构的硅基波分复用器 被引量:1
16
作者 周砚扬 王鹏飞 章宇兵 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第11期1119-1123,共5页
文章提出了一种基于马赫曾德尔干涉结构的硅基波分复用器。该器件可通过集成的电光移相器实现对器件中各通道传输谱的调节﹐来补偿外界温度变换和工艺误差造成的波长漂移。测试结果表明,热光移相器的效率为3 mW/π,可以实现4个通道的波... 文章提出了一种基于马赫曾德尔干涉结构的硅基波分复用器。该器件可通过集成的电光移相器实现对器件中各通道传输谱的调节﹐来补偿外界温度变换和工艺误差造成的波长漂移。测试结果表明,热光移相器的效率为3 mW/π,可以实现4个通道的波分复用,通道间隔为3.3nm,隔离度大于30 dB。 展开更多
关键词 电子器件 波分复用器 移相器
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Si基通信光电子学的进展
17
作者 邓志杰 《现代材料动态》 2003年第3期1-2,共2页
关键词 Si基通信电子学 电子器件 基波导 探测器 放大器
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Subwavelength grating devices in silicon photonics 被引量:5
18
作者 Junjia Wang Ivan Glesk Lawrence R.Chen 《Science Bulletin》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第11期879-888,共10页
Subwavelength grating(SWG) waveguides in silicon-on-insulator are emerging as an enabling technology for implementing compact, high-performance photonic integrated devices and circuits for signal processing and sensin... Subwavelength grating(SWG) waveguides in silicon-on-insulator are emerging as an enabling technology for implementing compact, high-performance photonic integrated devices and circuits for signal processing and sensing applications. We provide an overview of our recent work on developing wavelength selective SWG waveguide filters based on Bragg gratings and ring resonators, as well as optical delay lines. These components increase the SWG waveguide component toolbox and can be used to realize more complex photonic integrated circuits with enhanced or new functionality. 展开更多
关键词 Subwavelength gratings Siliconphotonics Integrated optics - Bragg gratings Ringresonators Optical delay lines
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