高分辨率硅上液晶SXGA投影显示

我们已开发出用于三片式彩色投影机的高集成化硅上液晶(liquidcrystal_on_silicon)光阀。硅片是由0.35μm、3 -金属和双压CMOS工艺设计和制作的 ,其空间分辨率为1280×1024象素。象素间距为12μm ,开口率为90 % ,显示区对角线为0.7in。硅片上安装着混合扭曲向列型和双折射液晶盒。Vrms=5.5V时的典型对比度为200∶1。光学分系统利用装有三个硅光阀的三色棱镜来实现彩色的分离和复合。已演示过一种紧凑的高对比度的SXGA视频投影机。