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碳团簇与硅单晶表面重构的蒙特卡罗模拟探索
被引量:
2
1
作者
梁志均
黄臻成
+2 位作者
王莉
邵元智
何振辉
《中山大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第S1期26-32,共7页
利用基于经验势(Tersoff势)的蒙特卡罗方法研究碳团簇稳定结构和硅片(100)表面重构这两个物理过程。模拟结果是含有偶数个原子的小团簇是主要由六圆环平铺而成,像石墨片似的平面结构。而含有奇数个原子的小团簇,会在团簇中心生成碳五圆...
利用基于经验势(Tersoff势)的蒙特卡罗方法研究碳团簇稳定结构和硅片(100)表面重构这两个物理过程。模拟结果是含有偶数个原子的小团簇是主要由六圆环平铺而成,像石墨片似的平面结构。而含有奇数个原子的小团簇,会在团簇中心生成碳五圆环,团簇的会围绕五圆环卷曲。得到的结论是碳团簇的结构与团簇的幻数有关。模拟硅片表面重构的结果显示硅单晶表面有五种不同的重构模式,并且在不同的温度条件下,这几种重构模式所占的比重也不一样。低温时,硅单晶表面是以无重构的1×1二聚体为主。随温度升高,硅单晶表面出现2×1、c(2×2)、c(4×2)等重构模式。而在高温时,单晶硅(100)表面将出现的一种新的重构方式———吸附二聚体,它很可能是硅片的外沿生长、成核过程的关键。
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关键词
Tersoff势
蒙特卡罗法
碳团簇
幻数
硅单晶表面重构
吸附二聚体
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职称材料
题名
碳团簇与硅单晶表面重构的蒙特卡罗模拟探索
被引量:
2
1
作者
梁志均
黄臻成
王莉
邵元智
何振辉
机构
中山大学光电材料与技术国家重点实验室∥物理科学与工程技术学院
出处
《中山大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第S1期26-32,共7页
文摘
利用基于经验势(Tersoff势)的蒙特卡罗方法研究碳团簇稳定结构和硅片(100)表面重构这两个物理过程。模拟结果是含有偶数个原子的小团簇是主要由六圆环平铺而成,像石墨片似的平面结构。而含有奇数个原子的小团簇,会在团簇中心生成碳五圆环,团簇的会围绕五圆环卷曲。得到的结论是碳团簇的结构与团簇的幻数有关。模拟硅片表面重构的结果显示硅单晶表面有五种不同的重构模式,并且在不同的温度条件下,这几种重构模式所占的比重也不一样。低温时,硅单晶表面是以无重构的1×1二聚体为主。随温度升高,硅单晶表面出现2×1、c(2×2)、c(4×2)等重构模式。而在高温时,单晶硅(100)表面将出现的一种新的重构方式———吸附二聚体,它很可能是硅片的外沿生长、成核过程的关键。
关键词
Tersoff势
蒙特卡罗法
碳团簇
幻数
硅单晶表面重构
吸附二聚体
Keywords
SiC
computer simulation
Monte Carlo
tersoff
ion beam implantation
carbon cluster
the reconstruction of silicon wafer surface
magic numbers of carbon clusters
分类号
O562 [理学—原子与分子物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
碳团簇与硅单晶表面重构的蒙特卡罗模拟探索
梁志均
黄臻成
王莉
邵元智
何振辉
《中山大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2004
2
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职称材料
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