超高灵敏度硅压敏微流量计

本文介绍一种最新开发出的超灵敏硅压敏流量计,用于薄膜工艺中测量微小气体流量。它利用电容压敏器来测量和控制流量,其制造工艺简单,电容压敏器为厚度2.9μm的应力补偿隔片,可工作在1mtorr-700torr范围内。