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板上芯片固化及热处理过程中表面残余应力的演变 被引量:4
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作者 孙志国 张群 +3 位作者 黄卫东 蒋玉齐 程兆年 罗乐 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第8期874-880,共7页
利用硅压阻传感器实时原位地记录粘接剂固化过程中的应力变化和残余应力的分布状况 ,以及在热处理过程中应力的演化过程 .研究表明 ,若粘合剂固化后在空气中储存 2 0天 ,应力将在后续热处理过程中急剧增加 ;而固化后接着经历峰值为 15 ... 利用硅压阻传感器实时原位地记录粘接剂固化过程中的应力变化和残余应力的分布状况 ,以及在热处理过程中应力的演化过程 .研究表明 ,若粘合剂固化后在空气中储存 2 0天 ,应力将在后续热处理过程中急剧增加 ;而固化后接着经历峰值为 15 0℃左右的热处理过程 ,则可以使残余应力稳定在一个相对低的值 . 展开更多
关键词 板上芯片 固化 热处理 残余应力 硅压阻应力传感器 半导体芯片
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衬底类型对粘贴芯片表面残余应力的影响
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作者 孙志国 黄卫东 罗乐 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第12期1281-1284,共4页
封装所导致的残余应力是电子器件封装和组装重点关注的问题 本工作利用硅压阻传感器,实时原位地记录了在不同基板材料(FR4和Al2O3陶瓷)上粘接剂固化过程中的应力变化和残余应力的分布状况. 研究表明,在不同基板材料上固化... 封装所导致的残余应力是电子器件封装和组装重点关注的问题 本工作利用硅压阻传感器,实时原位地记录了在不同基板材料(FR4和Al2O3陶瓷)上粘接剂固化过程中的应力变化和残余应力的分布状况. 研究表明,在不同基板材料上固化时,应力演化过程不同;Al2O3陶瓷基板上芯片的残余应力明显低于FR4基板. 展开更多
关键词 芯片粘贴 硅压阻应力传感器 残余应力 FR4 氧化铝陶瓷 电子器件
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粘接剂对直接粘贴芯片表面残余应力的影响 被引量:1
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作者 孙志国 黄卫东 +2 位作者 张群 罗乐 程兆年 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2002年第2期195-199,共5页
封装所导致的残余应力是电子器件封装和组装重点关注的问题。利用硅压阻传感器,原位实时地记录了不同粘接剂在FR4有机层压板衬底上固化过程中芯片表面的应力变化和残余应力的分布状况。研究表明,使用热膨胀系数较小的有机粘接剂粘贴芯片... 封装所导致的残余应力是电子器件封装和组装重点关注的问题。利用硅压阻传感器,原位实时地记录了不同粘接剂在FR4有机层压板衬底上固化过程中芯片表面的应力变化和残余应力的分布状况。研究表明,使用热膨胀系数较小的有机粘接剂粘贴芯片时,可获得较低的残余应力和相对优越的应力分布。该方法可作为芯片直接粘接时选择有机粘接剂的参照。 展开更多
关键词 硅压阻应力传感器 粘接剂 残余应力 电子封装
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