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题名近红外光学带隙硅三维光子晶体的制备
被引量:4
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作者
李宇杰
谢凯
许静
龙永福
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机构
国防科学技术大学材料工程与应用化学系
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出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期129-131,共3页
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基金
国家部委基金资助项目
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文摘
用溶剂蒸发法将单分散SiO2微球组装成三维有序结构的胶体晶体模板,用低压化学气相沉积法填充高折射率材料硅,酸洗去除SiO2模板,获得了硅反蛋白石三维光子晶体。通过扫描电镜、X射线衍射仪和紫外-可见-近红外光谱仪对硅反蛋白石三维光子晶体的形貌、成分、结构和光学性能进行了表征。研究结果表明:Si在SiO2微球空隙内具有较高的结晶质量,填充致密均匀;通过控制沉积条件,可控制硅的填充率;制备的硅反蛋白三维光子晶体在近红外区(1.4μm左右)具有明显的光学反射峰,表现出光学带隙效应,测试的光学性能与理论计算基本吻合。
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关键词
硅反蛋白石
光子晶体
低压化学气相沉积
溶剂蒸发法
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Keywords
silicon inverse opal, photonic crystal, low pressure chemical vapour deposition, solvent vaporization method
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分类号
TM285
[一般工业技术—材料科学与工程]
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