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128×128元硅场发射阵列的氩离子束刻蚀制作
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作者 张新宇 易新建 +2 位作者 赵兴荣 张智 何苗 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期135-138,共4页
利用光刻及氩离子束刻蚀制作面阵硅场发射器件,采用扫描电子显微镜和表面探针等分析所制样品的表面微结构形貌,定性讨论了刻蚀用氩离子束的能量及光致抗蚀剂掩模图形的厚度变化时所制成的面阵器件的形貌变化特点.
关键词 硅场发射阵列 光刻 氩离子束刻蚀 制作
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硅场发射阴极阵列的储存效应研究
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作者 刘卫东 罗恩泽 雷志凌 《电子器件》 CAS 1994年第3期110-112,共3页
本文研究了硅场发射阴极阵列的储存效应,发现长期储存会使其性能下降。
关键词 硅场发射 储存效应 真空微电子学 测试
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硅场发射器中电子发射特性退化的机理
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《现代显示》 1997年第2期26-30,共5页
研究了硅场发射器中电子发射特性的退化和它的机理。利用化学—机械—磨光工序,制造出三级型硅场发射器。存在一个临界偏置时间tc,在此时刻,阴级电流开始显著地降低。随着阳极电流增大,临界时间tc将缩短。在tc时间内反复测量... 研究了硅场发射器中电子发射特性的退化和它的机理。利用化学—机械—磨光工序,制造出三级型硅场发射器。存在一个临界偏置时间tc,在此时刻,阴级电流开始显著地降低。随着阳极电流增大,临界时间tc将缩短。在tc时间内反复测量发射电流,每一次测量后都完全弛豫(relexation),即使总偏置时间超过临界时间,也不出现退化。 展开更多
关键词 发射 电子发射特性 硅场发射器阵列 退化
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多孔硅场致电子发射 被引量:1
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作者 丁邦建 王维彪 《液晶与显示》 CAS CSCD 2000年第4期268-272,共5页
研究了多孔硅冷阴极的场致电子发射特性 ,实验表明采用电化学阳极腐蚀、氧化、蒸电极等工艺可以制备一种平面薄膜型多孔硅冷阴极。
关键词 多孔 冷阴极 致电子发射 多孔硅场发射器件
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多孔硅场致发射特性研究
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作者 周清 张莉 +6 位作者 赵新为 赵力斌 赵守珍 梁翠果 谢宝森 邱久文 付刚 《电子器件》 CAS 1994年第3期82-85,共4页
目前真空微电子使用的场致发射电子源主要是在硅衬底上采用腐蚀法和生长法得到的场发射阵列。这种方法在制造上难度较大,也很复杂。本文介绍用阳极化的方法制造多孔硅场发射阵列,并通过实验测定,用此法制造的场发射尖端阵列的发射曲... 目前真空微电子使用的场致发射电子源主要是在硅衬底上采用腐蚀法和生长法得到的场发射阵列。这种方法在制造上难度较大,也很复杂。本文介绍用阳极化的方法制造多孔硅场发射阵列,并通过实验测定,用此法制造的场发射尖端阵列的发射曲此,很好地符合Fowler-Nordheim公式。 展开更多
关键词 多孔 硅场发射 发射阵列 多孔
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硅基场发射阴极材料研究进展 被引量:6
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作者 富笑男 李新建 《科学技术与工程》 2005年第3期165-173,共9页
场发射显示技术在原理上具有多种优越性能,可能在未来平板显示技术中居主导地位。硅基场发射阴极易于与其周边驱动电路实现集成,因而更具有明显的开发前景。在综述硅基场发射阴极材料最新研究进展的基础上,就其所面临的问题、可能的解... 场发射显示技术在原理上具有多种优越性能,可能在未来平板显示技术中居主导地位。硅基场发射阴极易于与其周边驱动电路实现集成,因而更具有明显的开发前景。在综述硅基场发射阴极材料最新研究进展的基础上,就其所面临的问题、可能的解决方案和未来的发展趋势做出了评述。 展开更多
关键词 发射阴极材料 尖锥形阴极阵列 发射
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碳场电子发射体的应用研究
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作者 刘光诒 李宏彦 +5 位作者 夏善红 吕永积 王建英 吕庆年 王德安 丁耀根 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期88-92,共5页
本研究涉及几种自制碳场电子发射体,介绍探索这些碳场电子发射体应用的过程中,在真空电子学、真空微/纳电子学(VME/VNE)领域内获得成功的方面。研究工作涉及到了一些新开发的真空微电子学与真空电子学器件,如采用耐高温碳场电子发射体(C... 本研究涉及几种自制碳场电子发射体,介绍探索这些碳场电子发射体应用的过程中,在真空电子学、真空微/纳电子学(VME/VNE)领域内获得成功的方面。研究工作涉及到了一些新开发的真空微电子学与真空电子学器件,如采用耐高温碳场电子发射体(CFE)与平滑型碳场电子发射体(SCFE)的氖发光管,采用平滑型耐高温碳场电子发射体(SCFE)、阵列硅场电子发射体(Si-FEA)的封离式全玻璃平板真空荧光光源管(FP-VFLT),采用寻址式碳纳米管(CNT)薄膜阵列场电子发射体(CNT-FEA)的封离式全玻璃平板摄像管(FCT)与平板显像管(FDT),采用碳纳米管(CNT)薄膜场电子发射体的封离式全玻璃超薄平板字符管(FCT)。碳场电子发射体的应用研究工作也涉及到一种商用真空X射线管,及大面积碳纳米管(CNT)薄膜作为微波吸收材料的初步探讨。本文报导了这些研究工作达到的阶段成果。 展开更多
关键词 耐高温碳电子发射体(CFE) 平滑型耐高温碳电子发射体(SCFE) 阵列电子发射体(Si-FEA) 碳纳米管薄膜发射体(CNT) 寻址式碳纳米管阵列发射体(CNT-FEA)
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Fabrication and Field Emission of Silicon Nano-Crystalline Film 被引量:1
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作者 王伟明 郁可 +2 位作者 丁艳芳 李琼 朱自强 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期639-644,共6页
The silicon nano-crystalline (nc-Si) film is fabricated on <100> orientation,0.01Ω·cm resistivity,and p-type boron-doped silicon wafer by the anodic etching.The microstructure and the orientation of nc-Si ... The silicon nano-crystalline (nc-Si) film is fabricated on <100> orientation,0.01Ω·cm resistivity,and p-type boron-doped silicon wafer by the anodic etching.The microstructure and the orientation of nc-Si are examined by the scanning electron microscopy,transmission electron microscopy,and X-ray diffraction spectroscopy,respectively.The average size of particle is estimated by Raman spectroscopy.The results show that the particle size of nc-Si film is scattered from 10nm to 20nm,the alignment is compact,the orientation is uniform,the expansion of lattice constant is negligible,and mechanical robustness and stability are good.The correlations between film structure and the experiment parameters such as etching time,HF concentration,and etching current density are discussed.As a potential application,efficient field emission is observed from the nc-Si film,and the turn-on field is about 3V/μm at 0.1μA/cm 2 of current density,which is close to carbon nanotube film's. 展开更多
关键词 NC-SI anodic etching uniform orientation field emission
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Dip-coating of SiO2 onto ZnO-SiC Composite Membrane
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作者 Hyeyoun Hwang Hyunji Choi Miewon Jung 《Journal of Energy and Power Engineering》 2015年第6期562-565,共4页
SiC composite membrane was fabricated by mixing with SiC and ZnO powder. This mixture was pressed and sintered at 1,300 ℃ under air condition. This sintered ZnO-SiC membrane was dip-coated by silica sol and followed ... SiC composite membrane was fabricated by mixing with SiC and ZnO powder. This mixture was pressed and sintered at 1,300 ℃ under air condition. This sintered ZnO-SiC membrane was dip-coated by silica sol and followed by heat-treatment. This membrane was characterized by XRD (X-ray diffraction), FE-SEM (field emission scanning electron microscopy) and BET (Brunauer-Emmett-Teller) instruments. Hydrogen permeation test was conducted at 0.1 MPa pressure and also variation of temperatures. The obtained value of heat-treated membrane after dip-coating at 298 K was obtained as 1.61 × 10-6 mol/(m2·s·Pa). 展开更多
关键词 ZnO-SiC membrane dip-coated hydrogen permeation test.
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Structure and photoluminescence properties of InN films grown on porous silicon by MOCVD 被引量:1
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作者 王军 张红燕 《Optoelectronics Letters》 EI 2017年第3期214-216,共3页
In this work, indium nitride(InN) films were successfully grown on porous silicon(PS) using metal oxide chemical vapor deposition(MOCVD) method. Room temperature photoluminescence(PL) and field emission scanning elect... In this work, indium nitride(InN) films were successfully grown on porous silicon(PS) using metal oxide chemical vapor deposition(MOCVD) method. Room temperature photoluminescence(PL) and field emission scanning electron microscopy(FESEM) analyses are performed to investigate the optical, structural and morphological properties of the InN/PS nanocomposites. FESEM images show that the pore size of InN/PS nanocomposites is usually less than 4 μm in diameter, and the overall thickness is approximately 40 μm. The InN nanoparticles penetrate uniformly into PS layer and adhere to them very well. Nitrogen(N) and indium(In) can be detected by energy dispersive spectrometer(EDS). An important gradual decrease of the PL intensity for PS occurs with the increase of oxidation time, and the PL intensity of PS is quenched after 24 h oxidization. However, there is a strong PL intensity of InN/PS nanocomposites at 430 nm(2.88 eV), which means that PS substrate can influence the structural and optical properties of the InN, and the grown InN on PS substrate has good optical quality. 展开更多
关键词 MOCVD FESEM indium adhere nitride spectrometer dispersive uniformly Room porous
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Effects of post-annealing treatment on the structure and photoluminescence properties of CdS/PS nanocomposites prepared by sol-gel method
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作者 张红燕 《Optoelectronics Letters》 EI 2016年第2期81-84,共4页
CdS nanocrystals have been successfully grown on porous silicon(PS) by sol-gel method. The plan-view field emission scanning electron microscopy(FESEM) shows that the pore size of PS is smaller than 5 μm in diameter ... CdS nanocrystals have been successfully grown on porous silicon(PS) by sol-gel method. The plan-view field emission scanning electron microscopy(FESEM) shows that the pore size of PS is smaller than 5 μm in diameter and the agglomerates of Cd S are broadly distributed on the surface of PS substrate. With the increase of annealing time, the Cd S nanoparticles grow in both length and diameter along the preferred orientation. The cross-sectional FESEM images of Zn O/PS show that Cd S nanocrystals are uniformly penetrated into all PS layers and adhere to them very well. photoluminescence(PL) spectra demonstrate that the intensity of PL peak located at about 425 nm has almost no change after the annealing time increases. The range of emission wavelength of Cd S/PS is from 425 nm to 455 nm and the PL intensity is decreasing with the annealing temperature increasing from 100 °C to 200 °C. 展开更多
关键词 annealing FESEM preferred uniformly annealed adhere exciton sectional broadly decreasing
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