期刊文献+
共找到13篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
压阻式硅基传感器的温度补偿方法研究 被引量:6
1
作者 郭涛 石云波 张文栋 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期489-491,共3页
介绍了压阻式传感器的温度补偿原理及补偿方法 ,详细阐述了硅压阻式加速度传感器 30 2 8的补偿方法 ,给出了实验数据。该补偿方法使用元器件少 ,补偿简单 。
关键词 压阻式硅基传感器 温度补偿 PN结 补偿方式
下载PDF
基于硅基微环传感器的电缆接头测温系统
2
作者 夏俊峰 牛荣泽 +2 位作者 周宏扬 孙建生 董轩 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第7期13-18,24,共7页
传统电缆接头测温装置体积大,且不容易贴近接头,难以满足对电缆接头的测温需求,文中设计了一款基于硅基微环传感器的电缆接头测温系统,主要技术手段为:在微环的加热电极上施加余弦函数平方根形式的扰动电压,监测出光频率与扰动电压的同... 传统电缆接头测温装置体积大,且不容易贴近接头,难以满足对电缆接头的测温需求,文中设计了一款基于硅基微环传感器的电缆接头测温系统,主要技术手段为:在微环的加热电极上施加余弦函数平方根形式的扰动电压,监测出光频率与扰动电压的同频分量,获取频偏信号与温度的关系。文中进行了理论推导,并使用Python程序对理论进行仿真验证。在此基础上,搭建了实验验证平台,拟合了0~40℃下温度与频偏分量的关系,并进行了阶梯性升降温变化验证。实验结果表明:系统测温精度达到0.01℃,具有较高稳定性;且系统所需的设备简单,测温速度快,体积小,具有高的实用价值。 展开更多
关键词 电缆接头 温度计量 微环传感器 快速检测 小型化 光学信号测温
下载PDF
热激励硅基谐振型压力传感器技术研究 被引量:1
3
作者 张正元 徐世六 +2 位作者 税国华 胡明雨 刘玉奎 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期9-11,15,共4页
提出一种以电阻发热实现梁激励的单梁硅基谐振型压力传感器结构。利用硅/硅键合、减薄抛光和IC工艺技术,开展硅基谐振型压力传感器技术的研究,解决了三维体加工与IC工艺兼容的关键技术问题,成功地研制出热激励硅基谐振型压力传感器样品... 提出一种以电阻发热实现梁激励的单梁硅基谐振型压力传感器结构。利用硅/硅键合、减薄抛光和IC工艺技术,开展硅基谐振型压力传感器技术的研究,解决了三维体加工与IC工艺兼容的关键技术问题,成功地研制出热激励硅基谐振型压力传感器样品。该器件在常压下测试,其品质因子Q值达到1362.5,证实了该谐振型压力传感器结构是可行的。这为研制硅基谐振型压力传感器提供了一种新的方法。 展开更多
关键词 MEMS 硅基传感器 谐振型压力传感器 /键合
下载PDF
基于MEMS工艺的硅基四电极电导率与温度集成传感器芯片的研制 被引量:5
4
作者 张高燕 吴少华 赵湛 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第7期966-969,共4页
水参数的集成测量是水资源保护和海洋科学的基础,具有重要的意义。基于MEMS技术设计了流程简单、易于制备的铂电阻式温度传感器与圆环形四电极式电导率传感器集成芯片,采用专用的温度检定箱和双运放结构的测量电路分别对集成芯片的温度... 水参数的集成测量是水资源保护和海洋科学的基础,具有重要的意义。基于MEMS技术设计了流程简单、易于制备的铂电阻式温度传感器与圆环形四电极式电导率传感器集成芯片,采用专用的温度检定箱和双运放结构的测量电路分别对集成芯片的温度部分和电导率部分进行测试,得到了较好的测量结果。良好的线性曲线有利于后续的标定与应用。这款集成芯片避免了已有此类集成芯片的复杂工艺过程,通过批量制造技术可以使传感器成本降低,一致性提高。 展开更多
关键词 集成传感器芯片 水参数监测 MEMS 四电极式电导率测量
下载PDF
硅基光子晶体生物传感器研究进展 被引量:1
5
作者 冯帅 王晓青 +4 位作者 吴超 刘幸 陈笑 李传波 王义全 《中国科技论文》 CAS 北大核心 2018年第23期2658-2666,共9页
光子晶体是一种具有光子能带和带隙特性的空间周期性结构的人工电磁材料,因其具有的强大控光能力而在多种微纳光学功能器件中广泛应用,而光学生物传感器就是其中之一。光学生物传感器由于具有节能环保、抗干扰能力强、响应迅速等优势成... 光子晶体是一种具有光子能带和带隙特性的空间周期性结构的人工电磁材料,因其具有的强大控光能力而在多种微纳光学功能器件中广泛应用,而光学生物传感器就是其中之一。光学生物传感器由于具有节能环保、抗干扰能力强、响应迅速等优势成为了当前生物传感器的研究热点。硅材料自身具有高折射率和在近红外通讯波段低损耗等优良特性,并且由于互补金属氧化物半导体(complementary metal oxide semiconductor,CMOS)工艺和片上集成技术的快速发展,硅基光子晶体生物传感器不论在工作性能还是在制作成本和规模上都具有独特优势,拥有巨大的研究价值和广阔的市场潜力。本文系统介绍了近期硅基光子晶体结构高性能生物传感器的研究进展并对未来发展做了展望。 展开更多
关键词 应用光学 光子晶体 综述 生物传感器 光学传感器
下载PDF
硅基微结构气体传感器结构的有限元模拟分析 被引量:5
6
作者 杨广立 张彤 李春明 《吉林大学学报(理学版)》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期510-512,共3页
利用金属铂的热阻、热敏特性 ,以及 Si O2 和 Si Nx 良好的绝热、绝缘特性 ,设计一种以铂丝为加热层 ,叉指状的金电极为敏感膜信号电极 ,Si O2 和 Si Nx 为隔热和电绝缘层的硅基微热板结构气敏元件 .并利用有限元分析工具 ANSYS,对所设... 利用金属铂的热阻、热敏特性 ,以及 Si O2 和 Si Nx 良好的绝热、绝缘特性 ,设计一种以铂丝为加热层 ,叉指状的金电极为敏感膜信号电极 ,Si O2 和 Si Nx 为隔热和电绝缘层的硅基微热板结构气敏元件 .并利用有限元分析工具 ANSYS,对所设计的硅基微结构气敏元件的加热器进行了稳态过程和瞬态过程的模拟和分析 ,得到了元件表面的稳态热场分布和瞬态响应的分析结果 . 展开更多
关键词 微结构气体传感器 结构模拟 有限元分析 稳态过程 瞬态过程 温度场 响应时间
下载PDF
硅基力敏传感器及其工业应用(下)
7
作者 徐开先 《世界仪表与自动化》 2009年第5期33-35,共3页
四硅基力敏传感器应用时的选用原则及应用 1。力敏元件及传感器的选用原则 a.按性能指标要求选用 (1)量程的选用:传感器量程的选用一般以被测量参数经常处在整个量程的80%~90%为佳,最大工作状态点不能超过满量程。这样能有... 四硅基力敏传感器应用时的选用原则及应用 1。力敏元件及传感器的选用原则 a.按性能指标要求选用 (1)量程的选用:传感器量程的选用一般以被测量参数经常处在整个量程的80%~90%为佳,最大工作状态点不能超过满量程。这样能有效地保证传感器处在安全区并能使传感器的输出达到最大、精度达到较佳、分辨率较高,且具有较强的抗干扰能力。 展开更多
关键词 力敏传感器 膜片 测量 选用原则
下载PDF
硅基力敏传感器及其工业应用(上)
8
作者 徐开先 《世界仪表与自动化》 2009年第4期18-21,共4页
一 硅基力敏传感器的现状 硅基力敏传感器是指以硅(单晶或多晶)材料为基础,利用MEMS工艺,其特性参数受外力或应力变化而明显变化的敏感元件制成的传感器。这里的力包括重力、拉力、压力、力矩、压强等物理量。力敏传感器包括力、... 一 硅基力敏传感器的现状 硅基力敏传感器是指以硅(单晶或多晶)材料为基础,利用MEMS工艺,其特性参数受外力或应力变化而明显变化的敏感元件制成的传感器。这里的力包括重力、拉力、压力、力矩、压强等物理量。力敏传感器包括力、压力、差压、液位传感器等。 展开更多
关键词 传感器 力敏传感器 力敏元件
下载PDF
美国新型硅基气体传感器问世
9
《硅铝化合物》 2005年第2期36-37,共2页
一种基于多孔硅和独特金属化工艺的新型传感器问世,与现有技术相比,可提高敏感性,降低电力需求和成本,还可用于环境探测、食品和生物医学应用中的重要气体化合物。
关键词 美国 气体传感器 敏感性 生产成本 技术参数
下载PDF
新型硅基气体传感器
10
作者 王洪涛 《现代科技译丛(哈尔滨)》 2003年第2期48-49,共2页
一种基于多孔硅和独特金属化工艺的新型传感器问世,与现有技术相比,可提高敏感性,降低电力需求和成本,还可用于环境探测、食品和生物医学应用中的重要气体化合物.
关键词 气体传感器 多孔 无电加工技术 制造
下载PDF
英特尔开发出硅基超高感度光传感器
11
《机电工程技术》 2009年第1期6-6,共1页
美国英特尔最近成功开发了高速响应的硅基高感度光电二极管,性能超过了原来的InP等化合物类的APD。由于同时实现了高性能和低成本,因此除长距离光缆的受光元件外,还可用于量子加密通信、高性能图像传感器和生物芯片等。
关键词 超高感度光传感器 英特尔公司 开发 图像传感器 生物芯片
下载PDF
高性能硅基压力传感器产业技术研究
12
作者 李永清 贾文博 +3 位作者 方子硕 祝永锋 滕文峰 裴晓雷 《中国科技成果》 2023年第13期27-29,38,共4页
本文介绍了高性能硅基压力传感器及压力敏感芯片在国内各典型应用领域的日益凸显的重要地位,分析了国内外技术发展现状及国内存在的主要差距,详细阐述了本研究开展的各项技术研究内容、突破的各项核心关键技术以及实现的技术创新点,总... 本文介绍了高性能硅基压力传感器及压力敏感芯片在国内各典型应用领域的日益凸显的重要地位,分析了国内外技术发展现状及国内存在的主要差距,详细阐述了本研究开展的各项技术研究内容、突破的各项核心关键技术以及实现的技术创新点,总结分析了本研究成果的技术水平、社会经济意义及应用推广前景. 展开更多
关键词 压力传感器 MEMS压力敏感芯片 高性能 高稳定 低漂移
原文传递
Nanoscopic Tip Sensors Fabricated by Gas Phase Etching of Optical Glass Fibers
13
作者 Jorg BIERLICH Jens KOBELKE +3 位作者 David BRAND Konstantin KIRSCH Jan DELLITH Hartmut BARTELT 《Photonic Sensors》 SCIE EI CAS 2012年第4期331-339,共9页
Silica-based fiber tips are used in a variety of spectroscopic, micro- or nano-scopic optical sensor applications and photonic micro-devices. The miniaturization of optical sensor systems and the technical implementat... Silica-based fiber tips are used in a variety of spectroscopic, micro- or nano-scopic optical sensor applications and photonic micro-devices. The miniaturization of optical sensor systems and the technical implementation using optical fibers can provide new sensor designs with improved properties and functionality for new applications. The selective-etching of specifically doped silica fibers is a promising method in order to form complex photonic micro structures at the end or within fibers such as tips and cavities in various shapes useful for the all-fiber sensor and imaging applications. In the present study, we investigated the preparation of geometrically predefined, nanoscaled fiber tips by taking advantage of the dopant concentration profiles of highly doped step-index fibers. For this purpose, a gas phase etching process using hydrofluoric acid (HF) vapor was applied. The shaping of the fiber tips was based on very different etching rates as a result of the doping characteristics of specific optical fibers. Technological studies on the influence of the etching gas atmosphere on the temporal tip shaping and the final geometry were performed using undoped and doped silica fibers. The influence of the doping characteristics was investigated in phosphorus-, germanium-, fluorine- and boron-doped glass fibers. Narrow exposed as well as protected internal fiber tips in various shapes and tip radiuses down to less than 15 nm were achieved and characterized geometrically and topologically. For investigations into surface plasmon resonance effects, the fiber tips were coated with nanometer-sized silver layers by means of vapour deposition and finally subjected to an annealing treatment. 展开更多
关键词 Optical fiber tips NANOPROBES gas phase etching doping tip shaping metal coating
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部