硅基力敏传感器及其工业应用（下）

四硅基力敏传感器应用时的选用原则及应用 1。力敏元件及传感器的选用原则 a．按性能指标要求选用 （1）量程的选用：传感器量程的选用一般以被测量参数经常处在整个量程的80％～90％为佳，最大工作状态点不能超过满量程。这样能有效地保证传感器处在安全区并能使传感器的输出达到最大、精度达到较佳、分辨率较高，且具有较强的抗干扰能力。

硅基力敏传感器及其工业应用（上）

一 硅基力敏传感器的现状 硅基力敏传感器是指以硅（单晶或多晶）材料为基础，利用MEMS工艺，其特性参数受外力或应力变化而明显变化的敏感元件制成的传感器。这里的力包括重力、拉力、压力、力矩、压强等物理量。力敏传感器包括力、压力、差压、液位传感器等。