高后坐过载下硅基MEMS后坐保险装置响应特性

针对硅基相较于金属基材料延展性不足,在上万g发射环境下硅基MEMS后坐保险装置易发生失效的问题,对一种垂直基板式硅基MEMS后坐保险装置进行高后坐过载下响应特性研究。研究结果表明:高后坐过载下后坐保险装置的最大应力集中点位于靠近质量块的弹簧拐弯处,0.08 mm厚的弹簧在勤务跌落情况下最大应力值为1 188 MPa;闭锁机构的直角卡钩易发生闭锁后反弹脱钩;当弹簧厚度不超出0.2 mm时,增加弹簧厚度可以有效缓解跌落环境下弹簧的应力集中,最大应力值降低40.76%;当弹簧厚度达到0.24 mm后,应力集中加剧,达到0.28 mm后正常发射环境下质量块无法达到闭锁位移。为硅基MEMS后坐保险装置改进提供支撑。