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微机械陀螺仪的新进展及发展趋势
被引量:
12
1
作者
许昕
何杰
+1 位作者
王文
卜继军
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2014年第4期588-595,共8页
微机械陀螺仪是陀螺技术和微电子机械系统(MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。根据其工作原理和采用材料的不同,微机械陀螺可分为硅基微机械振动陀螺(Si-MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs)和悬浮转子式微机械陀螺等。该文介绍了微机械...
微机械陀螺仪是陀螺技术和微电子机械系统(MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。根据其工作原理和采用材料的不同,微机械陀螺可分为硅基微机械振动陀螺(Si-MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs)和悬浮转子式微机械陀螺等。该文介绍了微机械陀螺仪的主要参数指标和应用,对硅基微机械振动陀螺(Si-MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs)和悬浮转子式微机械陀螺的最新研究进展作了综合性报道,讨论了微机械陀螺未来的发展趋势。
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关键词
硅基微机械陀螺
微机
械
压电振动
陀螺
石英
微机
械
陀螺
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职称材料
题名
微机械陀螺仪的新进展及发展趋势
被引量:
12
1
作者
许昕
何杰
王文
卜继军
机构
中国电子科技集团公司第
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2014年第4期588-595,共8页
文摘
微机械陀螺仪是陀螺技术和微电子机械系统(MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。根据其工作原理和采用材料的不同,微机械陀螺可分为硅基微机械振动陀螺(Si-MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs)和悬浮转子式微机械陀螺等。该文介绍了微机械陀螺仪的主要参数指标和应用,对硅基微机械振动陀螺(Si-MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs)和悬浮转子式微机械陀螺的最新研究进展作了综合性报道,讨论了微机械陀螺未来的发展趋势。
关键词
硅基微机械陀螺
微机
械
压电振动
陀螺
石英
微机
械
陀螺
Keywords
Si-MVGs
micromachined PVGs
quartz micromachined gyroscope
分类号
U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
微机械陀螺仪的新进展及发展趋势
许昕
何杰
王文
卜继军
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2014
12
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