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CMP平坦化技术在LCoS显示器中的应用 被引量：8
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作者 代永平 耿卫东 +1 位作者 孙钟林 王隆望 《光电子技术》 CAS 2003年第1期41-45,共5页
作为一类新型 L CD技术的 LCo S显示屏是一种反射式液晶显示器 ,其镜面反射电极的平整性决定了整个显示器的亮度和对比度等主要显示参数。本文详细讨论了 CMP技术在LCo
关键词 硅基液晶屏 平整度 化学机械抛光
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