半导体用硅基特气乙硅烷的研究进展

乙硅烷是半导体制造中气相沉积薄膜的重要前驱体,随着光伏和集成电路的快速发展,制备高品质乙硅烷、实现进口替代已经成为一个研究热点,文章综述了乙硅烷的合成和纯化方法,并对乙硅烷的前景进行了分析和展望。