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硅岛式微谐振压力传感器灵敏度分析与仿真 被引量:3
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作者 刘勇 叶湘滨 +1 位作者 熊飞丽 张文娜 《计算机仿真》 CSCD 2008年第7期317-320,335,共5页
微谐振式压力传感器尺寸小、重量轻、精度高并具有数字输出,在航空航天等领域有着广阔的应用前景。然而由于微机械加工工艺的限制,复杂结构的制作存在很多困难,因而为实现高灵敏度压力测量,微谐振式压力传感器的结构设计就显得尤为重要... 微谐振式压力传感器尺寸小、重量轻、精度高并具有数字输出,在航空航天等领域有着广阔的应用前景。然而由于微机械加工工艺的限制,复杂结构的制作存在很多困难,因而为实现高灵敏度压力测量,微谐振式压力传感器的结构设计就显得尤为重要,因此提出一种新型硅岛式谐振梁支撑结构,它利用硅薄膜作为典型的一次敏感元件,并在其上表面中央部位设计了两个硅岛凸起平台,用以固定硅谐振梁,并通过有限元软件ANSYS进行仿真。分析结果表明,在一定量程内,该结构能有效提高谐振梁内的应力放大倍数,进而提高微压力传感器的灵敏度。 展开更多
关键词 微机械系统 压力 硅岛 谐振梁 有限元仿真分析
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ANSYS在硅岛膜设计中的应用 被引量:3
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作者 李晔辰 孙承松 《传感器世界》 2002年第11期26-28,34,共4页
ANSYS是计算机辅助工程分析中一套应用广泛的工程分析软件,它可以应用于诸如机械、航天、土木、电子等不同的领域。本文正是充分利用了ANSYS软件的有限元分析功能,将硅岛膜在受一定压力下的位移变化进行分析,再根据硅岛膜的其它尺寸要求... ANSYS是计算机辅助工程分析中一套应用广泛的工程分析软件,它可以应用于诸如机械、航天、土木、电子等不同的领域。本文正是充分利用了ANSYS软件的有限元分析功能,将硅岛膜在受一定压力下的位移变化进行分析,再根据硅岛膜的其它尺寸要求,可以取得硅岛膜的最佳尺寸。 展开更多
关键词 硅岛膜设计 ANSYS CAD 有限元
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九州硅岛的发展与日本产业集群计划 被引量:1
3
作者 冯辉 《现代日本经济》 CSSCI 2006年第5期12-15,共4页
美国硅谷的成功,促使许多国家纷纷进行效仿。九州硅岛很早就致力于产业集群的实践,21世纪初,日本进一步明确地提出了在全国范围内实施产业集群计划,其经验对我国实施产业集群战略具有一定的借鉴意义。
关键词 九州硅岛 产业集群计划 竞争优势 头脑部门 创新体系 产学研结合
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对异型硅岛实现的厚膜全耗尽SOI MOSFET的模拟研究
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作者 杨胜齐 何进 +1 位作者 黄如 张兴 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期1605-1608,共4页
本文提出了用异型硅岛实现的厚膜全耗尽 (FD)SOIMOSFET的新结构 ,并分析了其性能与结构参数的关系 .通过在厚膜SOIMOSFET靠近背栅的界面形成一个相反掺杂的硅岛 ,从而使得厚膜SOIMOSFET变成全耗尽器件 .二维模拟显示 ,通过对异型硅岛的... 本文提出了用异型硅岛实现的厚膜全耗尽 (FD)SOIMOSFET的新结构 ,并分析了其性能与结构参数的关系 .通过在厚膜SOIMOSFET靠近背栅的界面形成一个相反掺杂的硅岛 ,从而使得厚膜SOIMOSFET变成全耗尽器件 .二维模拟显示 ,通过对异型硅岛的宽度、厚度、掺杂浓度以及在沟道中位置的分析与设计 ,厚膜SOIMOSFET不仅实现了全耗尽 ,从而克服了其固有的Kink效应 ,而且驱动电流也大大增加 ,器件速度明显提高 ,同时短沟性能也得到改善 .模拟结果证明 :优化的异型硅岛应该位于硅膜的底部中央处 ,整个宽度约为沟道长度的五分之三 ,厚度大约等于硅膜厚度的一半 ,掺杂浓度只要高出硅膜的掺杂浓度即可 .重要的是 ,异型硅岛的设计允许其厚度、宽度、掺杂浓度以及位置的较大波动 .可以看出 。 展开更多
关键词 异型硅岛 厚膜全耗尽SOI KINK效应 集成电路 厚膜器件
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瀚艺冷水机登陆日本“硅岛”
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《暖通空调》 北大核心 2012年第5期I0020-I0020,共1页
九州岛,日本第三大岛,位于日本西南端。制造业以钢铁、化学、造船工业等为主,是日本高科技产业的主要集散地,其核心地区为北九州工业地带。20世纪70年代以来,电子工业迅速发展,有“硅岛”之称。近日,凭借专业的资质与经验,瀚艺... 九州岛,日本第三大岛,位于日本西南端。制造业以钢铁、化学、造船工业等为主,是日本高科技产业的主要集散地,其核心地区为北九州工业地带。20世纪70年代以来,电子工业迅速发展,有“硅岛”之称。近日,凭借专业的资质与经验,瀚艺成功进驻该岛某著名化工产业集团,为其工业生产工艺制冷提供整体的节能冷水系统解决方案。 展开更多
关键词 日本 硅岛 冷水机 造船工业 高科技产业 电子工业 产业集团 冷水系统
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熊本县成为日本“硅岛”中心
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作者 《国际展望》 1984年第10期25-,共1页
熊本县位于九州中西部,素以风景秀丽著称。过去是典型的农业县,现在则成为尖端产业荟萃的新型工业区。人们把九州称为日本的“硅岛”,熊本县就是“硅岛”的中心。目前,九州生产的大规模集成电路占日本全国的30%。熊本县的产量又占九州... 熊本县位于九州中西部,素以风景秀丽著称。过去是典型的农业县,现在则成为尖端产业荟萃的新型工业区。人们把九州称为日本的“硅岛”,熊本县就是“硅岛”的中心。目前,九州生产的大规模集成电路占日本全国的30%。熊本县的产量又占九州的一半。该县与大规模集成电路有关的工厂有41家,其中,九州日本电气公司的工厂月产1,800万个大规模集成电路芯片,是世界上最大的集成电路工厂。 展开更多
关键词 熊本县 硅岛 日本电气公司 熊本市 日本通产省 工业总产值 技术高度密集 大城市 应用研究所 熊本大学
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硅岛的忧虑和希望——从九州看日本政府的地区开发政策
7
作者 田兵 《全球科技经济瞭望》 1987年第1期35-37,共3页
日本九州地区做为日本生产集成电路的基地一硅岛,已闻名于世界。1985年所生产的集成电路为92亿9400万个,占全日本产量的38.6%。1986年3月生产3亿9200万个。
关键词 硅岛 地区开发 年所 地区经济 技术密集城市 熊本县 地方经济 高技术产业 工业基础 调整产业布局
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日本的“硅岛”——九州高技术产业的发展情况和当前面临的问题
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作者 田兵 《全球科技经济瞭望》 1986年第9期2-3,共2页
(一) 日本的“硅岛”(集成电路产业群)是日本三菱电机公司于1965年首先在熊本县创建生产集成电路的工厂,随后又有日本电气、东芝等大企业相继跟踪而至,逐渐发展起来的。日本九州的传统骨干产业是煤炭和钢铁。战前。
关键词 硅岛 骨干产业 高技术产业 熊本县 煤炭生产 三菱电机公司 战略口号 工业生产 电器公司 电子技术方面
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打造“绿色硅岛”——新世纪之初的台湾科技政策
9
作者 罗昌文 赵宝山 《海峡科技与产业》 2016年第5期15-19,共5页
加入世贸组织给台湾带来挑战进入21世纪,科学技术活动日趋全球化,应用转化的速度不断加快,知识经济正在成为主要的财富源泉,原始创新、关键技术创新和系统集成的作用日益突出,已成为决定国际产业分工地位和全球经济格局的关键因素,甚至... 加入世贸组织给台湾带来挑战进入21世纪,科学技术活动日趋全球化,应用转化的速度不断加快,知识经济正在成为主要的财富源泉,原始创新、关键技术创新和系统集成的作用日益突出,已成为决定国际产业分工地位和全球经济格局的关键因素,甚至成为引领经济和社会发展的主导力量。但是日趋激烈的国际竞争,以及全球经济社会发展中存在的深层次矛盾也带来了新的更大问题,人口、资源和环境的瓶颈性约束日益加剧,发达国家凭借其知识产权厚积优势, 展开更多
关键词 台湾经济 硅岛 国际产业分工 全球经济格局 科技政策 科学技术活动 现代科技知识 财富源泉 系统集成 科技主管部门
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瀚艺冷水机登陆日本“硅岛”
10
《供热制冷》 2012年第5期73-73,共1页
近日,凭借专业的资质与经验,瀚艺成功进驻日本硅岛某著名化工产业集团,为其工业生产工艺制冷提供整体的节能冷水系统解决方案。据悉,该项目采用瀚艺风冷箱型HYA-N40ADL系列工业冷水机组、
关键词 冷水机组 硅岛 日本 产业集团 冷水系统 生产工艺 工业
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用于大气数据系统的硅谐振压力传感器 被引量:1
11
作者 胡宗达 彭鹏 +2 位作者 李奇思 杨劼立 苏晓晓 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第3期160-163,共4页
设计了一种用于机载大气数据系统的高精度微机电系统(MEMS)硅谐振压力传感器。采用了多层硅—硅键合技术、阳极键合技术以获得高稳定性的频率信号输出和圆片级真空封装,其具有高精度、高Q值的特点。芯片采用复合谐振梁—膜—硅岛结构作... 设计了一种用于机载大气数据系统的高精度微机电系统(MEMS)硅谐振压力传感器。采用了多层硅—硅键合技术、阳极键合技术以获得高稳定性的频率信号输出和圆片级真空封装,其具有高精度、高Q值的特点。芯片采用复合谐振梁—膜—硅岛结构作为谐振器部分,以减小面外谐振模态带来的性能影响。测试结果表明:在量程范围为3~130 kPa,温度范围为-55~85℃,该谐振压力传感器的全温全压精度高达0.01%FS。 展开更多
关键词 谐振压力传感器 复合谐振梁—膜—硅岛结构 高精度 微机电系统
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向“硅岛”迈进的厦门
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作者 王炜中 余瑛瑞 《瞭望》 北大核心 1991年第18期29-30,共2页
1990年12月30日上午,厦门岛上一声开山炮,揭开了“厦门火炬高技术产业开发区”建设的序幕。它标志着厦门由此向技术密集型的“硅岛”发展目标迈进。 素以“海上花园”闻名于世的厦门,有诸多建设“硅岛”的有利条件。
关键词 硅岛 海上花园 李绪鄂 温度传感器 高技术企业 高技术产业 微电子组装 计算机数控 可编程序控制器 华夏集团
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一种硅微谐振式压力传感器的敏感膜片设计 被引量:5
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作者 任森 苑伟政 邓进军 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期1855-1858,1862,共5页
根据正方形膜片的变形和应力分布情况,提出了一种硅微谐振式压力传感器敏感膜片的设计方法,设计了两种正方形间接连接式压力敏感膜片.在相同的膜片面积下,新膜片与原有矩形间接连接式压力敏感膜片性能相近,为内部谐振器的多样化提供了基... 根据正方形膜片的变形和应力分布情况,提出了一种硅微谐振式压力传感器敏感膜片的设计方法,设计了两种正方形间接连接式压力敏感膜片.在相同的膜片面积下,新膜片与原有矩形间接连接式压力敏感膜片性能相近,为内部谐振器的多样化提供了基础.最后,就压力敏感膜片的工艺设计进行了探讨,认为采用正方形凸角补偿结构的〈110〉硅岛和采用边长补偿的〈100〉硅岛最适合间接连接式压力敏感膜片. 展开更多
关键词 谐振式压力传感器 敏感膜片 硅岛 凸角补偿
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SAPO-34分子筛合成中的主客体电荷平衡与硅分布(英文) 被引量:3
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作者 赵慧茹 史淑美 +2 位作者 吴金雄 丁月 李牛 《Chinese Journal of Catalysis》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期227-233,共7页
SAPO-34分子筛的硅磷酸铝组成与菱沸石笼结构孔道促进了甲醇高效转化为乙烯、丙烯(MTO)的反应,以其为催化剂的工业过程不断取得进步.然而,MTO反应过程中SAPO-34分子筛的迅速失活成为困扰该过程的重要问题.研究发现,反应中形成的多环芳... SAPO-34分子筛的硅磷酸铝组成与菱沸石笼结构孔道促进了甲醇高效转化为乙烯、丙烯(MTO)的反应,以其为催化剂的工业过程不断取得进步.然而,MTO反应过程中SAPO-34分子筛的迅速失活成为困扰该过程的重要问题.研究发现,反应中形成的多环芳烃阻塞了SAPO-34分子筛晶粒表面的笼结构孔道,甲醇分子难以向晶体内部扩散,致使分子筛在其活性中心未曾充分利用之前便己失活.为此,纳米晶粒SAPO-34的合成引起了人们的广泛兴趣,通过提高分子筛晶体的利用率有限地延长了催化剂的MTO反应寿命.但反应后催化剂的结焦量明显增加,说明引起SAPO-34结焦的因素不因晶粒的减小而受到抑制.我们曾研究了无硅A1P04-34分子筛的MTO反应,发现初始活性良好的催化剂在未结焦的情况下却因为活性中心的缺失而失活.显然,SAPO-34的MTO反应活性及其结焦均与其酸性密切相关,而酸性取决于其结构中的硅含量与硅分布.我们通过单晶结构解析获得了二乙胺(DEA)与哌嗪(PIPZ)导向合成SAPO-34的晶体结构,并从文献获得了四乙基氢氧化铵(TEAOH)、三乙胺(TEA)、吗啉(MOR)为模板剂合成SAPO-34的晶体结构.按照SAPO-34结构中菱沸石笼内形成的模板剂阳离子的电荷数(R)对不同模板剂导向合成的SAPO-34加以分类:TEAOH,TEA(R^+);DEA,MOR(2R^+);PIPZ(2R^(2+)).它们不因SAPO-34合成条件的变化而改变.依据分子筛骨架负电荷与SAPO-34菱沸石笼内模板剂阳离子正电荷平衡的原则(主客体电荷平衡),模板剂的类型决定SAPO-34骨架负电荷数,即引入硅形成的酸中心密度;酸中心的强度则取决于合成体系中硅的加入量.由此可以给出不同类型模板剂导向合成SAPO-34骨架中的最低硅含量(形成隔离硅原子).R^+型模板剂SiO_2/Al_2O_3为0.11;2R^+型模板剂为0.22;2R^(2+)型模板剂为0.44.合成体系中硅加入量的增加,会在SAPO-34骨架中形成"硅岛"结构.然而,我们的研究表明,"硅岛"的形成同样受到主客体电荷平衡原则的制约.通过结构分析发现,一个独立的"五硅岛"至少为6个相邻的菱沸石笼所分享,而每个"五硅岛"仅能形成3个负电荷.以R^+型模板剂导向合成的SAPO-34为例,需要6个骨架负电荷来平衡6个菱沸石笼中的R^+电荷,因此,除了"五硅岛"的3个负电荷,还要在这些笼骨架上形成3个"孤立"硅原子.该类模板剂导向合成SAPO-34,形成"五硅岛"的最低SiO_2/Al_2O_3摩尔比(硅含量)为0.45.进一步分析可知,在相邻的7个菱沸石笼之间可以分别形成"八硅岛"、"十一硅岛",而"十四硅岛"只能形成于相邻的10个菱沸石笼之间.同理,每种"硅岛"的形成都要伴随相应数目的"孤立"硅原子共同来平衡菱沸石笼内的R^+电荷.对于以2R^+型模板剂导向合成的SAPO-34,仍然是6个相邻的菱沸石笼分享"五硅岛",但是,每个菱沸石笼内的正电荷阳离子数增加了一倍,为满足主客体电荷平衡,需要形成更多"孤立"硅原子.由此可见,随着菱沸石笼内模板剂电荷数的增加,骨架的负电荷密度增大,给SAPO-34带来了更多酸中心,无论硅以"孤立"硅原子形式分布,还是形成"硅岛".同时,"硅岛"伴随"孤立"硅原子的共同存在也使我们理解了^(29)Si MAS NMR中的一个独特现象:在硅含量很高时形成了"硅岛",可是却存在着很强的属于"孤立"硅原子的谱峰. 展开更多
关键词 SAPO-34 分布 合成 硅岛 甲醇制烯烃
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微型柔性剪切应力传感器的制作研究 被引量:6
15
作者 陈四海 汪殿民 +2 位作者 朱福龙 徐涌 易新建 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第8期80-82,85,共4页
利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种新型传感器阵列。首先,在刚性衬底上制作了一种8×8切应力传感器阵列,然后,利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构。试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列经多次弯扭循环后,电阻值基本没有变化,... 利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种新型传感器阵列。首先,在刚性衬底上制作了一种8×8切应力传感器阵列,然后,利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构。试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列经多次弯扭循环后,电阻值基本没有变化,柔性传感器在经过弯扭3300次后,传感器本身的柔性材料并没有断。 展开更多
关键词 微机电系统 剪切应力传感器 硅岛阵列 柔性结构
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微加热板气体传感器的仿真及结构优化 被引量:3
16
作者 张子立 殷晨波 +1 位作者 陶春 朱斌 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2010年第8期1-3,43,共4页
针对微加热板气体传感器敏感薄膜上温度分布不均的缺点,在传统的微加热板传感器中加入了硅岛结构以均匀薄膜温度分布。利用有限元分析软件ANSYS对带有不同尺寸硅岛的传感器的温度分布进行了仿真和分析,得出了最佳的硅岛尺寸,并提出了一... 针对微加热板气体传感器敏感薄膜上温度分布不均的缺点,在传统的微加热板传感器中加入了硅岛结构以均匀薄膜温度分布。利用有限元分析软件ANSYS对带有不同尺寸硅岛的传感器的温度分布进行了仿真和分析,得出了最佳的硅岛尺寸,并提出了一种新型的微加热板气体传感器结构设计,该传感器结构可以在性能不受影响的情况下简化制作工艺。 展开更多
关键词 微加热板气体传感器 结构优化 硅岛 温度分布 ANSYS
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基于MoEMS工艺制作柔性光学传感器 被引量:1
17
作者 陈四海 潘峰 +5 位作者 付小朝 柯才军 汪殿民 向思桦 赖建军 易新建 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2005年第B03期64-66,共3页
基于MOEMS技术研究了一种用于仿生柔性光学传感器的曲面微透镜的制作方法。首先利用传统的光刻胶热熔工艺制作了平面微透镜阵列,然后利用深刻蚀(ICP)制作了一种硅岛阵列支撑结构,在硅岛上涂覆一层聚酰亚胺,并固化,形成柔性的结构。... 基于MOEMS技术研究了一种用于仿生柔性光学传感器的曲面微透镜的制作方法。首先利用传统的光刻胶热熔工艺制作了平面微透镜阵列,然后利用深刻蚀(ICP)制作了一种硅岛阵列支撑结构,在硅岛上涂覆一层聚酰亚胺,并固化,形成柔性的结构。利用这种技术所制作的微型光学传感器既具有一定的柔性,又具有一定的强度,而且与传统的硅工艺相兼容。 展开更多
关键词 柔性传感器 硅岛阵列 微光机电系统(MOEMS)技术
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基于SnO_2薄膜气体传感器的设计与制作(英文)
18
作者 张子立 殷晨波 +1 位作者 朱斌 陶春旻 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2012年第5期412-416,共5页
设计了一种带硅岛结构的基于SnO2薄膜材料的共面式气体传感器.利用有限元工具对传感器进行了稳态热分析,分析结果表明这种传感器在33.84 mW的功耗下最高温度达到400℃,气敏薄膜上温度分布均匀.详细阐述了传感器的制作过程,过程中总共使... 设计了一种带硅岛结构的基于SnO2薄膜材料的共面式气体传感器.利用有限元工具对传感器进行了稳态热分析,分析结果表明这种传感器在33.84 mW的功耗下最高温度达到400℃,气敏薄膜上温度分布均匀.详细阐述了传感器的制作过程,过程中总共使用4块掩模版用于光刻工艺.采用溶胶-凝胶法制备了SnO2纳米薄膜作为传感器的气敏元件.对传感器进行了气敏测试,实验结果表明该传感器拥有良好的气敏性能,在300℃下对50×10-6到2 000×10-6氢气的灵敏度逐渐递增,反应时间可控制在10 s以内. 展开更多
关键词 气体传感器 共面式 硅岛 温度分布 气敏特性
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国外高技术密集区发展概况与趋势分析
19
作者 周晓芳 张家祥 《未来与发展》 1986年第5期10-12,共3页
二次大战以后,一些发达国家为使自己在经济竞争中立于不败之地,为使科学技术尽快转化为生产力,竞相建立高技术密集区。美国有“硅谷”、“128号公路”、“三角研究公园”、日本有“硅岛”、英国有“苏格兰电子工业中心”、法国有“索菲... 二次大战以后,一些发达国家为使自己在经济竞争中立于不败之地,为使科学技术尽快转化为生产力,竞相建立高技术密集区。美国有“硅谷”、“128号公路”、“三角研究公园”、日本有“硅岛”、英国有“苏格兰电子工业中心”、法国有“索菲亚·安蒂波利斯科技城”。在高技术密集区里,拥有尖端技术的大学、研究机构和先进的工业,本着共同的经济利益,在空间上集聚到一起。 展开更多
关键词 硅岛 研究机构 安蒂 二次大战 发展概况 经济竞争 索菲亚 地区经济 斯坦福 机械工人
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当代世界工业科学园可借鉴的经验
20
作者 何佳声 《高教探索》 1985年第2期44-50,共7页
随着世界科学技术日新月异的发展,新技术、新工艺、新产品,尤如雨后春笋,层出不穷。在工业发达的国家,曾先后设置了一些各具不同特色的新技术开发园区。如美国的“硅谷”、麻省的“科技研究中心”,以及美国在各大中城市设立了众多的“... 随着世界科学技术日新月异的发展,新技术、新工艺、新产品,尤如雨后春笋,层出不穷。在工业发达的国家,曾先后设置了一些各具不同特色的新技术开发园区。如美国的“硅谷”、麻省的“科技研究中心”,以及美国在各大中城市设立了众多的“科学—工业综合生产体系”;英国的苏格兰“电子工业中心”;法国的“苏菲亚安第城”;日本的“硅岛”、“ 展开更多
关键词 科学园区 世界工业 开发园区 硅岛 世界科学技术 科学工业园 半导体工业 麻省 研究中心 生产基地
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