1
硅微机械加工光波导压力传感器的设计
许高攀
胡国清
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002
3
2
基于硅微机械加工波导W波段功率合成放大器
成海峰
朱翔
候芳
胡三明
郭健
石归雄
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
4
3
单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018
2
4
新的用于微系统的硅微机械加工技术(下)
P.J.French
贡树行
《红外》
CAS
2000
0
5
硅微机械加工技术
《中国集成电路》
2007
0
6
硅微机械加工技术
《电子工程师》
2006
0
7
新型谐振式硅微机械加速度计
钟莹
张国雄
李醒飞
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2003
7
8
一种基于体硅工艺的微机械可调节椭圆低通滤波器
缪旻
卜景鹏
赵立葳
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008
2
9
微机械陀螺真空封装玻璃罩子加工工艺的研究
李锦明
李林
张文栋
《应用基础与工程科学学报》
EI
CSCD
2005
0
10
新型微机械加工为微器件开辟新应用领域
Chris Bang
《电子产品世界》
2004
0
11
一种静电驱动电容检测的微机械陀螺及其工艺改进
郑旭东
胡世昌
张霞
金仲和
王跃林
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
0
12
探讨面向微机械电子技术的自动化测量传感器设计
郭宁
刘青
《数字技术与应用》
2022
0
13
微加工技术与微光机电系统的研究与应用
陈迪
赵旭
《世界科技研究与发展》
CSCD
2001
1
14
硅各向同性深刻蚀中的多层掩模工艺
聂磊
史铁林
陆向宁
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2010
0
15
单片集成的高性能压阻式三轴高g加速度计的设计、制造和测试
董培涛
李昕欣
张鲲
吴学忠
李圣怡
封松林
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
8
16
三梁-质量块敏感结构高性能压阻式碰撞加速度计
董培涛
周伟
李昕欣
张屯国
王跃林
封松林
李圣怡
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007
6
17
利用MEMS研制微型气流传感器的特性研究
温殿忠
方华军
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1998
3
18
高性能微惯性器件单片集成技术
张照云
施志贵
张慧
彭勃
《太赫兹科学与电子信息学报》
2014
1
19
基于MEMS技术梁膜结合压阻式加速度计的设计
张玲
赵玉龙
蒋庄德
田边
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009
1
20
p+Si/Au热电堆式气体流量传感器一维模型及其应用
王珊珊
王家畴
李昕欣
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020
2