硅微热致动泵设计及其加工工艺的研究

本文提出了一种新结构的硅微热致动泵，着重对其关键加工工艺进行了综述分析和实验研究，可为国内相关领域的研究提供一定的参考。

硅微热致动泵的关键加工工艺

提出了一种新型结构的硅微热致动泵，对该泵相关的微机械关键加工工艺进行了综述分析和试验研究。