圆形振动膜硅微电容传声器

硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器.该传声器只需五次光刻工艺即可制作完成,其灵敏度在偏置电压为9V时可达15mV/Pa左右,在100Hz^18kHz的范围内的频率响应也较平坦.

硅微电容传声器的防粘连结构

粘连是硅微电容传声器释放牺牲层过程中不容忽视的一个严重问题,大大降低了器件的成品率.在背板上制备微突出(bump)结构,可以较彻底阻止粘连现象发生,提高传声器的成品率.以往的防粘连微突出结构大都制备在上背板结构硅微电容传声器的背板上,它制备工艺简单,但是无法得到厚背板,形成“软”背板,影响传声器的性能.本文提出在下背板上制备防粘连微突出结构,因为其可以做的较厚,避免了软背板的缺点,这时利用氮化硅形成微突出,运用该法制备的硅微电容传声器有效的防止粘连现象发生.对该方案还可进行改进,利用重硼掺杂单晶硅形成微突出,该工艺流程重复性好.最终我们研制成具有防粘结构的硅微电容传声器.

电容式硅微传声器设计及其移动通信中的应用

介绍了电容式硅微传声器的构造和工作原理,采用电-力-声类比法,建立了通用电容式硅微传声器的集总参数等效电路模型,并运用PSPICE软件对其动态特性进行计算机仿真,得到了仿真模型在1 kHz处的灵敏度达到-40 dB,并且在可听域范围内,频率响应平坦。

基于光声光谱法气体探测传声器的研究进展

光声光谱法气体探测技术具有灵敏度高、选择性高、不消耗被测量气体等优点,在现代工农业、环境监测、生物技术等领域发挥着重要的作用。随着这些领域的发展,人们对气体探测器的综合性能要求越来越高,因而光声气体探测器得到了良好的发展和应用。基于光声光谱法探测气体是利用气体光声效应原理,其中传声器是气体探测系统的一个重要声电转换器件。文章介绍了光声光谱法气体探测的基本原理,光声效应产生机理,阐述了电容式传声器、驻极体传声器和悬臂式微传声器的研究进展及其与光声光谱法相结合在气体探测领域的应用现状。详细介绍了几种传声器的优缺点,并展望了高灵敏微传声器的发展及其应用意义。