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题名适用于硅微谐振器件测量的光纤位移传感器研究
被引量:6
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作者
刘月明
田维坚
刘君华
张少君
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机构
中国科学院西安光学精密机械研究所
西安交通大学电气工程学院
西安理工大学机械与精密仪器工程学院
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第10期1216-1219,共4页
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基金
陕西省教委专项科研计划 ( 0 2JK15 5 )
中国博士后基金( 2 0 0 2 0 32 2 2 5 )
+1 种基金
中国科学院"百人计划"基金
国家自然科学基金( 6 9776 0 37)资助项目
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文摘
对一种适用于硅微机械谐振器件测量的光纤位移传感器进行了研究 ,该光纤位移传感器探头采用了单根光纤探测形式和光纤“X”耦合器结构 ,在微弱光电传感信号处理上采用了“锁相放大器”提取方案 ,可以实现对静态位移和振动位移两种场合进行测量 对该传感器的实测结果表明 :该传感器测量范围为 0~ 10 0 μm ,测量灵敏度 3 95mV/μm ,精度等级优于 1% ,重复性优于0 5 % 为作为应用实例 ,运用该传感系统对一种微悬臂梁硅微谐振器件进行了测量 ,成功提取了硅微谐振器件的微弱谐振信号 ,证实了该传感器可以实现对硅微谐振器件的非接触和无损测量 ,并具有非接触、易调试。
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关键词
硅微谐振器件
光纤位移传感器
光纤“X”耦合器
锁相放大器
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Keywords
Silicon micromechanical resonator
Optic-fiber deflection sensor
Optic-fiber 'X' coupler
Lock-in Amplifier
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分类号
TH825
[机械工程—精密仪器及机械]
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