适用于硅微谐振器件测量的光纤位移传感器研究

对一种适用于硅微机械谐振器件测量的光纤位移传感器进行了研究 ,该光纤位移传感器探头采用了单根光纤探测形式和光纤“X”耦合器结构 ,在微弱光电传感信号处理上采用了“锁相放大器”提取方案 ,可以实现对静态位移和振动位移两种场合进行测量 对该传感器的实测结果表明 :该传感器测量范围为 0～ 10 0 μm ,测量灵敏度 3 95mV/μm ,精度等级优于 1% ,重复性优于0 5 % 为作为应用实例 ,运用该传感系统对一种微悬臂梁硅微谐振器件进行了测量 ,成功提取了硅微谐振器件的微弱谐振信号 ,证实了该传感器可以实现对硅微谐振器件的非接触和无损测量 ,并具有非接触、易调试。