电镀永磁体方法用于制作振动膜式微驱动器

阐述了利用电镀制作磁体微结构的方法,采用这一工艺方法制作了一种基于硅橡胶薄膜(PDMS,polydi methyl siloxane)和CoNiMnP永磁体阵列的双向微型电磁驱动器,由振动膜层和线圈层构成。微驱动器中磁体阵列中每一个小磁体块的尺寸为50μm×50μm×20μm,其矫顽力、剩磁和最大磁能积分别为2623Oe(208.73kA/m)、0.2T(2000G)和10.15kJ/m3。

内嵌永磁体阵列的柔性振动膜微型电磁驱动器的设计与制作工艺

提出了一种基于硅橡胶薄膜(PDMS,polydimethyl siloxane)和CoNiMnP永磁体阵列的双向微型电磁驱动器,由振动膜层和线圈层两层构成。对该驱动器进行了理论分析与数值模拟,二者结果基本一致,振动膜中心最大挠度的分析误差为7.96%.着重探讨了内嵌磁体阵列的PDMS振动膜的电镀工艺,磁体阵列中每一个小磁体块的尺寸为50μm×50μm×20μm,其矫顽力、剩磁和最大磁能积分别为208.73 kA/m,0.2 T和10.15 kJ/m3.

一种振动膜式双向微型电磁驱动器的制作工艺

主要阐述一种微型电磁驱动器的制作工艺,该驱动器由振动膜层和线圈层两层构成。振动振动膜材料为硅橡胶薄膜(PDMS,polydimethylsiloxane),在其中嵌入CoNiMnP永磁体阵列,采用电镀方法制作磁体阵列,由甩胶机旋涂硅橡胶并进行固化。磁体阵列中每一个小磁体块的尺寸为(50×50×20)μm,其矫顽力,剩磁和最大磁能积分别为2623Oe(208.73kA/m),0.2T(2000G)和10.15kJ/m3。