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铝基体上沉积硅氧化物薄膜及结合性能研究 被引量:3
1
作者 赵胜利 文九巴 +2 位作者 樊丽梅 祝要民 宋国英 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1926-1928,共3页
以单晶硅片为靶材,高纯Ar和O2分别为溅射气体和反应气体,采用反应磁控溅射法在铝基体上制备了硅氧化物薄膜。由扫描电镜(SEM)、投射电镜(TEM)、电子衍射(ED)、X射线能量散射仪(EDX)等表征了薄膜的形貌、结构和组成,通过划痕试验、弯曲... 以单晶硅片为靶材,高纯Ar和O2分别为溅射气体和反应气体,采用反应磁控溅射法在铝基体上制备了硅氧化物薄膜。由扫描电镜(SEM)、投射电镜(TEM)、电子衍射(ED)、X射线能量散射仪(EDX)等表征了薄膜的形貌、结构和组成,通过划痕试验、弯曲试验以及热冲击试验考察了薄膜与基体结合性能。研究结果表明,在Al基体表面制备了表面粗糙度均匀、无裂缝的富硅非晶态硅氧化物薄膜,其中Si和O的原子比为1∶1.57。在经NaOH溶液腐蚀的Al基体上SiOx薄膜具有很强的结合能力,可作为蛋白质芯片的固相载体。 展开更多
关键词 硅氧化物薄膜 铝基体 磁控溅射 结合性能
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成土年代系列土壤的铝硅氧化物变化特征 被引量:3
2
作者 黄成敏 龚子同 《土壤》 CAS CSCD 北大核心 2000年第1期47-49,53,共4页
对海南岛北部玄武岩上发育的不同成土年龄系列土壤研究表明,随土壤年龄的增加,土壤中AlNa和Ald含量均增大,但前者趋势更明显:Alo/AlNa、Sio均随成土年龄而出现有规律的变化,能很好地指示土壤发育程度。
关键词 氧化物 硅氧化物 土壤发育 土壤年龄 玄武岩
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溶胶-凝胶法在铝基体上沉积硅氧化物薄膜
3
作者 赵胜利 裴士轻 +1 位作者 文九巴 赵崇军 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A07期2655-2658,共4页
采用溶胶凝胶工艺并结合旋转涂布技术在Al基片上沉积硅氧化物薄膜,由扫描电镜(SEM)、投射电镜(TEM)、电子衍射(ED)、X射线能量散射(EDX)考察了溶胶性质、升温速率、控制干燥剂等对薄膜的表面形貌影响以及薄膜的结构特点。研究... 采用溶胶凝胶工艺并结合旋转涂布技术在Al基片上沉积硅氧化物薄膜,由扫描电镜(SEM)、投射电镜(TEM)、电子衍射(ED)、X射线能量散射(EDX)考察了溶胶性质、升温速率、控制干燥剂等对薄膜的表面形貌影响以及薄膜的结构特点。研究结果表明:在Al基体上制备了表面较均匀、无裂缝的非晶态硅氧化物薄膜,其中O和Si的原子比接近2。利用碱性溶胶在较低的升温速率条件下可以克服薄膜表面裂纹的产生,添加少量控制干燥剂DMF可在较高的升温速率时获得比表面积大、无裂缝的均匀薄膜,有望作为蛋白质芯片的固相载体. 展开更多
关键词 硅氧化物薄膜 铝基体 溶胶-凝胶 形貌结构
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钛硅氧化物催化剂在PET合成中的应用
4
作者 孔凡滔 杨景辉 +3 位作者 李福清 吴秋芳 马新胜 陈建定 《合成纤维工业》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期13-16,共4页
研究了钛硅复合氧化物催化剂在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)2 L聚合釜和10 kt/a间歇式生产装置上的应用,并与乙二醇锑催化剂应用结果进行了对比。结果表明:在2 L聚合釜上,钛硅氧化物催化剂是示出好的催化活性,终缩聚时间比锑催化剂缩短了2... 研究了钛硅复合氧化物催化剂在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)2 L聚合釜和10 kt/a间歇式生产装置上的应用,并与乙二醇锑催化剂应用结果进行了对比。结果表明:在2 L聚合釜上,钛硅氧化物催化剂是示出好的催化活性,终缩聚时间比锑催化剂缩短了20 min,但在10 kt/a生产装置上,终缩聚时间比锑催化剂延长了60min;使用钛硅氧化物催化剂所得PET切片质量指标达到了优级品。提高催化剂的均相性以降低传质过程的复杂性是钛系催化剂在聚酯生产中获得应用的关键。 展开更多
关键词 聚对苯二甲酸乙二醇酯 硅氧化物 催化剂 传质 非均相
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硅氧化物反应离子刻蚀均匀性研究(英文)
5
作者 胡思福 格林M 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第2期162-168,共7页
提出了提高径向刻蚀均匀性的一种新颖的方法。在反应离子刻蚀系统中,采用等离子体控制环调节硅氧化物的径向刻蚀速率,刻蚀均匀性在等效于直径为15 cm 硅片上可以达到±3%.
关键词 离子刻蚀 均匀性 硅氧化物 等离子
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原料对硅氧化物纳米球形成的影响
6
作者 裴立宅 《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 2008年第4期14-16,23,共4页
以硅、二氧化硅为硅源探讨了水热沉积条件下原料对硅氧化物纳米球形成的影响。实验表明,硅、二氧化硅的混合物在水热沉积硅氧化物纳米球时效果最好,所得纳米球直径小、分布较均匀;仅以硅为原料时所得球状结构尺寸大,直径分布范围宽;仅... 以硅、二氧化硅为硅源探讨了水热沉积条件下原料对硅氧化物纳米球形成的影响。实验表明,硅、二氧化硅的混合物在水热沉积硅氧化物纳米球时效果最好,所得纳米球直径小、分布较均匀;仅以硅为原料时所得球状结构尺寸大,直径分布范围宽;仅以二氧化硅为原料时则得不到球状结构。二氧化硅对于硅氧化物纳米球的形成起到了重要作用。 展开更多
关键词 原料 氧化 硅氧化物纳米球
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球状纳米硅氧化物的制备
7
作者 裴立宅 《稀有金属快报》 CSCD 2008年第12期18-21,共4页
以硅、二氧化硅为原料,采用水热沉积法制备了球状纳米硅氧化物。用扫描电子显微镜、透射电子显微镜、能量色散谱仪、荧光光度计等测试手段观测了样品的形貌,分析了样品的成分、结构及光致发光(PL)特性。扫描电镜、透射电镜的研究结果表... 以硅、二氧化硅为原料,采用水热沉积法制备了球状纳米硅氧化物。用扫描电子显微镜、透射电子显微镜、能量色散谱仪、荧光光度计等测试手段观测了样品的形貌,分析了样品的成分、结构及光致发光(PL)特性。扫描电镜、透射电镜的研究结果表明,所得样品为高纯、直径较均匀的球状纳米硅氧化物。选区电子衍射结果表明,所得纳米硅氧化物球为无定形结构。PL测试表明,样品具有较强的蓝光发射能力。 展开更多
关键词 纳米硅氧化物 球状结构 光致发光 水热沉积
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锂离子电池硅氧化物负极首次库伦效率的影响因素与提升策略 被引量:2
8
作者 李辉阳 朱思颖 +3 位作者 李莎 张桥保 赵金保 张力 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第8期2342-2358,共17页
硅氧化物(SiO_(x),0<x≤2)具有高的比容量和低的嵌锂电位,且体积膨胀率显著低于纯硅负极,因而被认为是替代传统石墨负极材料的理想选择之一.然而SiO_(x)负极在首次嵌锂过程中表面形成的固体电解质界面膜(SEI)以及大量的不可逆产物,... 硅氧化物(SiO_(x),0<x≤2)具有高的比容量和低的嵌锂电位,且体积膨胀率显著低于纯硅负极,因而被认为是替代传统石墨负极材料的理想选择之一.然而SiO_(x)负极在首次嵌锂过程中表面形成的固体电解质界面膜(SEI)以及大量的不可逆产物,造成其首次库伦效率偏低,严重阻碍了SiO_(x)负极的实际应用.本文从SiO_(x)的结构模型出发,系统阐述了SiO_(x)负极的嵌锂机理以及首次库伦效率低的原因;归纳了SiO_(x)负极首次库伦效率的提升策略及其研究进展;并对提升SiO_(x)负极首次库伦效率的未来发展方向进行了展望. 展开更多
关键词 锂离子电池 硅氧化物 首次库伦效率 结构设计 预锂化
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微孔–介孔钛硅氧化物复合材料的合成与表征 被引量:4
9
作者 侯隽 许影 +1 位作者 田从学 张昭 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期435-441,共7页
以十六烷基三甲基溴化铵为模板剂诱导硅酸钠水解形成的多孔二氧化硅为硫酸钛水解的“模板”,用溶胶–凝胶技术和水热处理工艺合成钛硅复合材料前驱体。通过两步灼烧法可脱除前驱体中的有机模板。通过X射线衍射、差热分析和低温氮吸附等... 以十六烷基三甲基溴化铵为模板剂诱导硅酸钠水解形成的多孔二氧化硅为硫酸钛水解的“模板”,用溶胶–凝胶技术和水热处理工艺合成钛硅复合材料前驱体。通过两步灼烧法可脱除前驱体中的有机模板。通过X射线衍射、差热分析和低温氮吸附等测试技术对产物进行表征。结果表明:硅浓度约为0.1mol/L,起始钛浓度约为0.125mol/L,pH值为1时,硫酸钛于室温下水解制备的前驱体具有较好的孔结构。前驱体首先在350℃灼烧4h,再在750℃灼烧4h后的产物为晶体结构趋于规整的锐钛矿型二氧化钛,比表面积高达369m2/g,并具有良好的热稳定性。通过t–曲线计算出微孔和介孔对比表面及孔体积的贡献。 展开更多
关键词 复合氧化物 微孔-介孔 比表面积 热稳定性
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重质馏分油加氢处理催化剂用Y型分子筛—钛硅氧化物复合载体研究 被引量:1
10
作者 魏强 周亚松 +1 位作者 温世昌 徐春明 《燃料化学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期448-453,共6页
采用溶胶-凝胶结合CO2超临界干燥的方法制备了钛硅复合氧化物(CTS)载体基质材料。以不同方法将Y型分子筛与CTS混合制得Y/CTS复合载体,以Ni、W为活性金属组分,采用等体积溶液浸渍法制备了加氢处理催化剂。考察了Y型分子筛与CTS的复合方... 采用溶胶-凝胶结合CO2超临界干燥的方法制备了钛硅复合氧化物(CTS)载体基质材料。以不同方法将Y型分子筛与CTS混合制得Y/CTS复合载体,以Ni、W为活性金属组分,采用等体积溶液浸渍法制备了加氢处理催化剂。考察了Y型分子筛与CTS的复合方式及加入量对催化剂加氢精制性能的影响,进而研究了P改性对Y/CTS结构及酸性的影响。结果表明,Y型分子筛的加入提高了CTS复合氧化物的酸性和比表面积,适当的分子筛加入量没有破坏CTS原有的结构。当Y型分子筛的加入量大于20%,Y/CTS的总酸量高于CTS,尤其是B酸量提高幅度较大,B酸强度也明显增加;Y/CTS载体中加入P以后,载体的总酸量增加,L酸的比例提高。以胜利焦化蜡油为原料,对催化剂的加氢反应性能评价结果表明,Y型分子筛的加入以及P对Y/CTS的改性,能够在一定程度上提高催化剂的加氢脱硫和加氢脱氮活性。 展开更多
关键词 复合氧化物 Y型分子筛 焦化蜡油 加氢精制 催化剂结构
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以低熔点金属为催化剂的CVD方法制备硅及硅氧化物纳米材料
11
作者 王建涛 张晓宏 《影像科学与光化学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期318-318,共1页
一维硅纳米材料由于具有优越的电子学、光学特性以及能够与传统的硅基工业相兼容等特点,使其控制制备倍受科研工作者的关注.在众多一维硅纳米材料的控制合成方法中,经典的气相-液相-固相(VLS)机制下的催化剂诱导生长是一种极为重要的... 一维硅纳米材料由于具有优越的电子学、光学特性以及能够与传统的硅基工业相兼容等特点,使其控制制备倍受科研工作者的关注.在众多一维硅纳米材料的控制合成方法中,经典的气相-液相-固相(VLS)机制下的催化剂诱导生长是一种极为重要的控制合成方法.在VLS机制中,金属催化剂是影响一维纳米结构生长的最重要的因素之一, 展开更多
关键词 金属催化剂 硅氧化物 纳米材料 低熔点金属 制备 CVD 一维纳米结构 合成方法
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从氯硅烷中去除水分和硅氧化物的清除剂的组成、工艺过程及其装置
12
《无机盐工业》 CAS 北大核心 2005年第6期62-62,共1页
一种可用的从氯硅烷中去除水分和硅氧化物的清除剂。其组成包含:(a)一种载体;(b)与载体相关联的一种或多种化合物。它是选自分子式为Ra-xMClx的一组化合物(式中M代表一种金属。其中一价金属有锂、钠和钾;二价金属有镁、锶、钡和钙;... 一种可用的从氯硅烷中去除水分和硅氧化物的清除剂。其组成包含:(a)一种载体;(b)与载体相关联的一种或多种化合物。它是选自分子式为Ra-xMClx的一组化合物(式中M代表一种金属。其中一价金属有锂、钠和钾;二价金属有镁、锶、钡和钙;三价金属有铝。R代表烷基。α代表金属M的价位数。x代表由0~α的数目。)。 展开更多
关键词 水分 硅氧化物 清除剂 工艺过程 生产装置
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采用非硅氧化物可以克服硅CMOS集成电路缩小尺寸过程中栅氧化层减薄所带来的问题
13
作者 Rodney Myrvaagnes 王正华 《今日电子》 1999年第9期13-14,共2页
在硅集成电路进一步缩小尺寸的过程中,将会遇到一些困难;其中的一项是栅氧化层的厚度,从目前情况来看出现了问题得以解决的苗头。
关键词 CMOS集成电路 硅氧化物 氧化 IC
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ICP-AES法测定含铝预熔性渣洗料中钙、镁、硅、铝氧化物
14
作者 李青章 常相征 《山西冶金》 CAS 2024年第4期28-30,共3页
研究使用电感耦合等离子体发射光谱法测定炼钢含铝预熔性渣洗料中钙、镁、硅、铝氧化物的分析条件以及处理样品的方式方法,为便于区别金属铝和三氧化二铝,创建了一种新型的仪器分析方法。由于试样中金属铝的存在,采用先酸溶再碱融的处... 研究使用电感耦合等离子体发射光谱法测定炼钢含铝预熔性渣洗料中钙、镁、硅、铝氧化物的分析条件以及处理样品的方式方法,为便于区别金属铝和三氧化二铝,创建了一种新型的仪器分析方法。由于试样中金属铝的存在,采用先酸溶再碱融的处理方式,并采用配置相似基体的方法消除基体干扰。研究了渣洗料的溶样过程、仪器分析参数的选择、基体的干扰消除等对分析结果影响,在优化仪器分析参数和分解试样实验过程中,试样分析结果相对标准偏差远小于1.0%,分析结果准确度和精密度都很高。因此,该方法可取代化学分析法,是一种准确、快速的仪器分析方法。 展开更多
关键词 电感耦合等离子发射光谱法 含铝预熔性渣洗料 金属铝 钙、镁、、铝氧化物
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焙烧温度对不同硅铝比的硅铝复合氧化物酸性质的影响 被引量:1
15
作者 盖媛媛 李海涛 柴晶 《当代化工》 CAS 2023年第6期1279-1283,共5页
用溶胶-凝胶法制备硅铝复合氧化物,利用热重-差热分析(TG-DTA)、傅立叶变换红外光谱(FTIR)、氨程序升温脱附(NH3-TPD)、吸附吡啶红外光谱(Py-IR)等表征手段探讨焙烧温度变化对硅铝复合氧化物酸强度、酸量和酸类型等性质的影响。结果表明... 用溶胶-凝胶法制备硅铝复合氧化物,利用热重-差热分析(TG-DTA)、傅立叶变换红外光谱(FTIR)、氨程序升温脱附(NH3-TPD)、吸附吡啶红外光谱(Py-IR)等表征手段探讨焙烧温度变化对硅铝复合氧化物酸强度、酸量和酸类型等性质的影响。结果表明:焙烧温度在500~900℃的考察范围内,硅铝复合氧化物样品均显示出弱酸和中强酸性;随处理温度升高,硅铝复合氧化物样品呈现硅、铝物种复合程度增加(Si—O—Al键增多),B酸中心数量逐渐减少,且总酸量递减的趋势,这可归因于高温条件下硅铝复合氧化物羟基数量的减少。与Al/Si原子数之比为0.05的硅铝复合氧化物相比,Al/Si原子数之比为0.5的硅铝复合氧化物具有更多的Si—O—Al键,且存在少量强酸位。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 铝复合氧化物 Al/Si原子比 焙烧温度 酸性
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锂离子电池硅氧化物负极材料的研究进展 被引量:9
16
作者 吴永康 傅儒生 +2 位作者 刘兆平 夏永高 邵光杰 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期1645-1652,共8页
硅氧化物(SiOx)因具有高的比容量和良好的循环性能而备受关注,并被认为是最具潜力的下一代锂离子电池负极材料之一。在首次嵌锂时,SiOx与锂离子发生反应,生成惰性相Li2O和Li4SiO4。惰性相的生成可有效缓冲SiOx的体积效应,同时SiOx为... 硅氧化物(SiOx)因具有高的比容量和良好的循环性能而备受关注,并被认为是最具潜力的下一代锂离子电池负极材料之一。在首次嵌锂时,SiOx与锂离子发生反应,生成惰性相Li2O和Li4SiO4。惰性相的生成可有效缓冲SiOx的体积效应,同时SiOx为多相纳米均匀分布结构,因此极大改善了其电极材料的循环性能。本文从SiOx的结构与电化学储锂机制方面出发,介绍了其与电化学性能的关系,阐明了SiOx负极材料主要存在的问题,归纳了研究者们的主要改性思路,最后对SiOx负极材料未来发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 锂离子电池 负极材料 硅氧化物 电化学性能
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钛硅复合氧化物局域结构的研究 被引量:10
17
作者 杨晓光 董鹏 +4 位作者 周亚松 刘涛 张静 谢亚宁 胡天斗 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第1期33-37,共5页
用 XAFS(X-ray absorption fine structure)分析了由溶胶-凝胶、液相浸渍和化学气相沉积等三种方法制备的二氧化钛和二氧化硅复合氧化物的 Ti K 边结构.结果表明:溶胶-凝胶法制得的复合氯化物中的钛分散很好,液相浸渍法次之,而化学... 用 XAFS(X-ray absorption fine structure)分析了由溶胶-凝胶、液相浸渍和化学气相沉积等三种方法制备的二氧化钛和二氧化硅复合氧化物的 Ti K 边结构.结果表明:溶胶-凝胶法制得的复合氯化物中的钛分散很好,液相浸渍法次之,而化学气相沉积法最差,不论哪种方法,随钛含量(或钛硅原子比)的增加,边前特征峰 A2降低,钛的第一配位层 Ti-O 的配位数和键长增加;在复合载体中既有钛中心对称的八面体6配位 TiO_6的结构也有钛中心对称性差的四面体4配位 TiO_4或五面体5配位结构,并且随钛含量增加,钛的局域结构越来越接近锐钛矿型二氧化钛,根据 XAFS、XRD、IR 表征结果,提出了钛硅复合氧化物模型。 展开更多
关键词 XAFS 复合氧化物 溶胶-凝胶 液相浸渍 化学气相沉积 催化剂
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钯-离子液体/钛硅复合氧化物催化剂的合成及在胺羰化中的应用 被引量:20
18
作者 石峰 马宇春 +1 位作者 周瀚成 邓友全 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第9期1781-1783,共3页
A highly efficient Pd\|BMImCl/TiO\-\%y\%\|SiO\-\%x\% catalyst system synthesized through sol\|gel method from palladium complex, ionic liquid, titanate and silicate esters was found for the oxidative carbonylation of ... A highly efficient Pd\|BMImCl/TiO\-\%y\%\|SiO\-\%x\% catalyst system synthesized through sol\|gel method from palladium complex, ionic liquid, titanate and silicate esters was found for the oxidative carbonylation of amines. The catalyst efficiency was much higher than that reported in previous papers and the TOF number reached to 10 372 when catalyst 0.05%Pd\|4.6%BMImCl/TiO\-\%y\%\|SiO\-\%x\% was used. The usability of ionic liquid was the key point for preparation of this catalyst system because of its high dissolvability to palladium complex and affording appropriate micro\|environment for the reaction. The synergism among palladium complex, ionic liquid, titanate and silicate was the main reason for the high catalytic activity of the catalyst system. BET, AES and XRD were used to characterized the catalysts in detail. 展开更多
关键词 钯-离子液体/钛复合氧化物催化剂 合成 羰化 溶胶-凝胶 苯胺 氨基甲酸酯 环己胺 催化反应 催化活性
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钛硅复合氧化物光催化剂的研究进展 被引量:7
19
作者 冀晓静 郑经堂 +1 位作者 石建稳 赵玉翠 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期472-476,共5页
介绍了溶胶–凝胶法、水解沉淀法、水热合成法制备钛硅复合氧化物光催化剂的研究进展,评述了3种制备方法的优缺点以及添加硅对TiO2光催化活性的影响:添加硅后增大了催化剂的比表面积,提高了TiO2晶型转变温度,增强了其表面酸度,生成的Ti... 介绍了溶胶–凝胶法、水解沉淀法、水热合成法制备钛硅复合氧化物光催化剂的研究进展,评述了3种制备方法的优缺点以及添加硅对TiO2光催化活性的影响:添加硅后增大了催化剂的比表面积,提高了TiO2晶型转变温度,增强了其表面酸度,生成的Ti—O—Si键抑制了TiO2粒径的增大,拓宽了催化剂的禁带宽度,从而提高了光催化剂的催化活性。并对该领域今后的研究方向提出了建议。 展开更多
关键词 复合氧化物 光催化 活性
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三维规则排列的大孔钛硅混合氧化物的制备与表征 被引量:9
20
作者 沈勇 邬泉周 +1 位作者 廖菊芳 李玉光 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期401-406,共6页
以聚苯乙烯微球离心后形成的三维规则排列的胶晶作模板,用钛酸丁酯和正硅酸乙酯分别和水、乙醇等配制成的混合溶胶填充微球之间的间隙,然后原位形成凝胶,最后通过焙烧(<5℃/min;300℃,5h;570℃,5~10h,空气流速1L/min)除去微球得到... 以聚苯乙烯微球离心后形成的三维规则排列的胶晶作模板,用钛酸丁酯和正硅酸乙酯分别和水、乙醇等配制成的混合溶胶填充微球之间的间隙,然后原位形成凝胶,最后通过焙烧(<5℃/min;300℃,5h;570℃,5~10h,空气流速1L/min)除去微球得到三维规则排列的大孔钛硅混合氧化物.样品表面可观察到五颜六色的彩光.样品的SEM图表明,球形孔大小均匀,排列整齐,孔壁填充完全.孔径在500nm左右,孔的排列呈面心立方结构,孔与孔之间由小孔窗相互交连.较高的溶胶浓度有利于溶胶的填充,容易形成孔壁较厚的坚固的三维骨架.低浓度得到的样品孔壁薄,缺陷多,易脆裂.样品的EDS表明Si/Ti的摩尔比为2.7,XRD研究表明孔壁具有无定形的结构. 展开更多
关键词 混合氧化物 三维规则排列大孔 3DOM 聚苯乙烯微球 胶晶
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