一种无定形SiO_2上沉积含氢的非晶硅氧改善硅平面管特性的方法

本文报导的是在无定形SiO_2上沉积含氢的非晶硅氧修复特性较差的硅平面管的方法,该方法可使特性较差的管子起死回生。