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题名硅热流量传感器及其封装
被引量:6
- 1
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作者
高冬晖
秦明
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机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2004年第5期45-51,共7页
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基金
江苏省自然科学基金(BK2003052)资助
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文摘
在介绍硅热流量传感器的工作原理、工艺方法的基础上,重点给出了目前硅热流量传感器特别是风速计的几种常用结构以及相应的封装形式,并对每种结构及其封装形式的优缺点进行了分析。最后对硅热流量传感器封装发展中尚待解决的问题以及未来发展趋势进行了讨论。
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关键词
硅热流量传感器
风速计
封装
工作原理
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Keywords
silicon flow sensor
wind sensor
packaging
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名热薄膜温差型CMOS风速风向传感器的研究和实现
被引量:7
- 2
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作者
程海洋
秦明
高冬晖
朱昊
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机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
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出处
《电子器件》
CAS
2004年第3期486-489,共4页
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基金
江苏省自然科学基金项目资助 ( BK2 0 0 3 0 5 2 )
东南大学科技预研基金资助
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文摘
介绍了一种基于 CMOS,能同时测量风速风向的硅集成传感器。通过保持芯片和环境温差恒定在设定值 ,测量芯片上对称区域由于风强迫对流而引起的温差 ,利用二维结构同时获得风速风向信息。本文首先介绍热薄膜温差型风速风向传感器原理 ,给出了具体结构和工艺 ,最后对样品进行了风洞测试 ,传感器能够测量风速 0~ 2 3 m/ s且 3
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关键词
CMOS
CTD
硅热流量风速风向传感器
温差型
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Keywords
CMOS
CTD
silicon thermal wind sensor
temperature difference
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分类号
TN431.1
[电子电信—微电子学与固体电子学]
TP212.6
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名微型风速风向传感器研制
被引量:7
- 3
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作者
李艳杰
高成臣
文彬
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机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
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出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003年第3期25-26,29,共3页
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文摘
阐述了微型风速风向传感器的工作原理,结构设计及工艺研究,该传感器采用硅微机械加工技术制成微悬桥结构,将加热电阻器与感温电阻器排布在悬桥上,降低了功耗,提高了传感器灵敏度,实现低风速风场测量。
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关键词
硅微桥
风向
风速
传感器
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Keywords
silicon microbrodge
wind direction
wind speed
transducer
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名CMOS二维风速计控制及检测电路的研究
被引量:4
- 4
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作者
程海洋
秦明
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机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2004年第6期38-43,共6页
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基金
江苏省"十五"高技术资助项目(BG2001035)
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文摘
针对CMOS二维风速风向传感器的工作原理,分析了传感器的控制电路及其特点,并根据该类传感器的特点,重点探讨了信号检测处理电路的形式和特点。拟采用恒温差或者温度平衡控制模式实现对加热器的控制,用斩波放大技术或热Σ-Δ调制技术构建信号处理电路,用标准CMOS工艺实现传感器和控制处理电路的系统集成。
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关键词
CMOS
二维风速计
硅热流量传感器
斩波放大器
检测电路
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Keywords
silicon thermal flow sensor
wind sensor
CMOS process
chopper amplifier
Σ-Δ ADC
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分类号
TH815
[机械工程—精密仪器及机械]
TN431.1
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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