硅烷废气焚烧处置设计研究

以焚烧方式处置有机废气具有占地面积小、焚烧产物稳定、能耗低和可回收热能等优点,因此在国际上得到广泛的应用,然而我国在推动有毒害、易燃易爆气体焚烧实施过程中存在一些问题。主要介绍了硅烷废气焚烧处置的实际设计,以期为该类废气的处置提供应用参考。

多晶硅生产过程中硅烷废气的处理

文章主要介绍了如何通过碱液淋洗工艺对于在硅烷流化床法生产多晶硅的过程中所产生的硅烷废气进行无害化处理以满足环保要求。

硅烷系废气的高效处理方法

将从半导体制造设备排出的含有硅烷系气体的废气通过以固体金属氧化物为主要成分的填料层,高效率地除去该硅烷系气体,至少使浓度降低到0.5ppm以下。