基于ADAMS和Matlab的硅片搬运机器人联合仿真研究

为提高硅片搬运机器人的设计效率,充分利用虚拟样机技术,搭建硅片搬运机器人的联合仿真系统。首先借助三维建模软件SolidWorks建立机器人三维实体模型;然后将实体模型导入ADAMS多体动力学软件,建立机器人的动力学模型,进行运动学和动力学仿真;之后在Matlab/Simulink中搭建机器人控制系统,并通过ADAMS/Control模块将ADAMS动力学模型与Simulink控制系统模型组合在一起,建立联合仿真系统。仿真结果表明,硅片搬运机器人具有较好的动态响应特性和良好的轨迹跟踪能力。