硅片清洗原理与方法综述

文中首先就硅片清洗原理的硅片的表面状态与洁净度问题和吸附理论进行了探讨,在硅片清洗的常用方法与技术中分析了湿法化学清洗、干法清洗技术、束流清洗技术。