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国产硅片锥形缺陷的改善方法
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作者 陆振杰 李杰 郎玉红 《上海师范大学学报（自然科学版）》 2020年第4期483-486,共4页
针对某国产硅片在验证过程中的锥形缺陷,通过优化拉晶和制作工艺中的等待时间管控,减少硅片的缺陷,提升硅片的质量.
关键词 国产硅片 锥形缺陷 硅片磨边 等待时间
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