1
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硅电容式触觉传感阵列及相关技术 |
秦明
黄庆安
吕世骥
张会珍
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《传感器技术》
CSCD
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1993 |
0 |
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2
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高灵敏度硅电容式压力传感器的研制 |
陈志刚
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《传感器技术》
CSCD
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1989 |
2
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3
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一种大厚度的三轴差分电容式硅微加速度计 |
曹新平
张大成
黄如
张兴
王阳元
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《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2002 |
7
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4
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电容式硅微机械麦克风的结构与动态特性 |
董健
计时鸣
王伟
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《浙江大学学报(工学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2009 |
1
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5
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二维电容式硅微加速度传感器的刚度求解 |
刘妤
温志渝
张流强
梁玉前
温中泉
李霞
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《微纳电子技术》
CAS
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2003 |
1
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6
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电容式硅微结构加速度计动态特性的研究 |
洪连进
陈洪娟
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《振动.测试与诊断》
EI
CSCD
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2003 |
2
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7
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工业化硅微机械电容式麦克风的设计与性能计算 |
董健
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《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
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2008 |
3
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8
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基于多目标遗传算法的硅微机械电容式麦克风优化设计 |
董健
王伟
计时鸣
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《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2011 |
0 |
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9
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一种电容式硅微机械麦克风的设计与制造 |
董健
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《机电一体化》
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2008 |
0 |
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10
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具有自由悬浮敏感膜的硅微机械电容式麦克风的设计与仿真计算 |
王伟
董健
计时鸣
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《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
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2009 |
2
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11
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电容式硅微加速度计变换方程的研究 |
洪连进
陈洪娟
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《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
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2002 |
0 |
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12
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无掩模腐蚀工艺对硅电容力敏结构的改进 |
李昕欣
鲍敏杭
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《传感技术学报》
CAS
CSCD
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1996 |
3
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13
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电容式硅微传声器设计及其移动通信中的应用 |
孙长城
马治国
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《电声技术》
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2013 |
0 |
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14
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加速度计的最新发展——微机械硅电容加速度计 |
林明邦
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《上海计量测试》
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1995 |
0 |
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15
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硅微麦克风探测模块辐射性能研究 |
左夏茂
赵立宏
邓骞
王健
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《机电信息》
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2012 |
0 |
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16
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MEMS压力传感器及其应用 |
颜重光
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《电子产品世界》
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2009 |
10
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