硅盒结构集成MOS环振式压力传感器

本文报道了一种硅盒结构的、具有频率输出的集成MOS环振式压力传感器。结果表明,与该结构相对应的硅盒技术与IC工艺完全兼容,非常适合集成压力传感器的制作,为进一步研制各种集成压力传感器提供了一种简单的、先进的技术。文中还讨论了硅盒结构PMOSFET的力敏特性。