硅纳米颗粒薄膜对硅太阳电池的减反射作用分析

通过光路模拟计算,分析了在硅太阳电池的表面添加一层多孔的硅纳米颗粒薄膜以增加硅太阳电池光吸收的可能性。无论在硅太阳电池封装前还是封装后,硅纳米颗粒的尺寸对光的透过率的影响均很小,孔隙率约为70%的硅纳米颗粒薄膜能最大限度提高光的透过率。在硅太阳电池封装后,硅纳米颗粒薄膜对光的透过率的增强与封装前相比有所削弱。同时考虑了入射光角度变化时硅纳米颗粒薄膜对光的透过率的影响。

镶嵌有纳米硅的氮化硅薄膜键合特性分析

采用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWPCVD)技术制备了非化学计量比的氢化氮化硅薄膜,对所沉积样品及氮气环境中920℃退火样品的微观结构及键合特性进行了分析。Raman散射结果表明,薄膜中过量硅以非晶纳米粒子形式存在,退火样品呈现纳米晶硅和氮化硅的镶嵌结构。红外吸收和可见光吸收特性比较结果显示,薄膜样品的微观结构依赖于化学计量比以及退火过程,硅含量较低样品因高的键合氢含量而表现出低的纳米硅表面缺陷态密度;退火过程将引起Si—H和N—H键合密度的减少,因晶态纳米颗粒的形成,退火样品表现出更高的结构无序度。