硅芯质量的影响因素探析

硅芯作为多晶硅生产过程中的基底材料,硅芯杂质含量居高不下导致多晶硅成品质量低下,为解决该问题,从硅芯制备各环节入手研究,对可能造成硅芯质量下降的各因素进行分析,并针对各因素制定对应的控制措施,以推动电子级、区熔级多晶硅的国产化生产。

硅芯制备技术及对沉积多晶硅棒杂质的影响

本文介绍了改良西门子法多晶硅生产中的硅芯制备技术,包括区熔法硅芯制备技术和切割法硅芯制备技术。简要介绍了两种硅芯制备技术的工艺流程,并对两种不同技术路线制备硅芯过程中的杂质分凝、挥发及坩埚污染进行了比较。根据分析结果,采用区熔硅芯能在一定程度上降低硅芯对硅棒的杂质贡献。

纯硅芯光纤的空间辐照环境适应性

研究了光纤的辐照损伤机理,对纯硅芯光纤与传统芯层掺杂光纤的结构特点进行了系统地分析,从结构组成特点上分析了两者的抗辐照性能差异。研究了国内外关于光纤的抗辐照试验标准,对各标准中剂量率、总剂量等试验条件差异进行了对比,并对不同剂量率对光纤辐照试验结果的影响进行了分析,给出了光纤在空间辐照环境条件下应用的γ辐照试验条件的选择原则。最后,采用0.1 rad(Si)/s剂量率对某国产纯硅芯光纤的抗辐照性能进行了试验评估,光纤在20 k rad(Si)总剂量辐照后光纤损耗为1.934 d B/km。空间辐照性能评估结果满足该项目的宇航型号的空间环境使用需求,辐照评估结论为可用。

纯硅芯石英光纤的研制

在简要阐述纯硅芯石英光纤结构、性能依赖关系的基础上，较详细地介绍了ＰＣＶＤ法制备纯硅芯光纤的工艺技术。为证实所制光纤性能的优劣，分别测试了该光纤的数值孔径，衰减系数和带宽等，提出了确保纯硅芯光纤良好性能的工艺方法。

切割用直拉硅芯原料棒工艺特点探讨

用于切割生产硅芯的原料硅棒,一般采用CZ法生产。采用CZ法生产过程中,由于设备故障、人员操作等因素经常会产生局部不良导致提断处理,提断会导致整棒报废,损失较大,成本增加明显。结合生产实际,实验出一种融接工艺,可以使提断后硅棒继续生长,同时融接面没有隐裂、气泡等不良。经检验该工艺满足生产要求,基本可以避免提断损失。

多晶硅生产中硅芯夹层的成因及预防措施

分析了在多晶硅生产过程中,硅芯氧化夹层和氮化夹层形成的原因,并提出了预防措施。

新型硅芯晶体炉的开发与设计

从分析硅芯晶体生长的工艺特点出发,简要介绍了硅芯晶体生长设备的设计思想以及新近开发设计的新型硅芯晶体炉的机械结构及电气控制系统。

高密度聚乙烯硅芯塑料管拉伸强度测量的不确定度评定

介绍了用CSS44100电子万能试验机测定地下通信管道用高密度聚乙烯硅芯塑料管拉伸强度的试验方法,并对试验结果的测量不确定度进行分析评定,找出了影响拉伸强度测量结果的主要因素。

高密度聚乙烯硅芯塑料管环刚度测量的不确定度评定

介绍了测定地下通信管道用高密度聚乙烯硅芯塑料管环刚度的试验方法,并对试验结果的测量不确定度进行分析评定,找出了影响环刚度测量结果的主要因素。

高速公路硅芯管管道试通方法的探讨与实践

详细分析了影响高速公路硅芯管管道畅通的因素和故障产生的原因,对硅芯管管道试通方法进行了较详细的阐述,并结合实践经验提出了高速公路通信管道硅芯管管道简单实用的试通方法。

新型拉晶炉在硅芯制备中的应用

介绍了一种新型拉晶炉,采用直拉法拉制大直径硅棒,然后切割成方硅芯。该种拉晶炉一次性出硅芯数量多,弯曲度可控,表面附着力强,可大幅提高硅芯的生产效率。

一次生长多根硅芯设备的结构设计

多晶硅是单晶硅生产中必不可少的主要原料,硅芯是多晶硅生产过程中生长多晶的载体。而硅芯炉,主要用于生产多晶硅载体-硅芯。硅芯炉是在惰性气氛下,以高频感应加热,采用区熔法生长硅芯的设备,可一次同时生长多根硅芯,一炉次生产多组硅芯的设备。该设备由机械部分、电气控制部分以及高频电源三大部分组成。论文只对机械结构部份论述,其结构由底座、槽路支架、下传动、炉室、过渡付室、提拉头、真空系统、充气系统、水路等部分构成。

多晶硅还原炉用方、圆硅芯性价分析及展望

本文对方形、圆形硅芯的制造成本、使用特点、可能的其他形态,以及其在多晶硅生产中的性价成本等方面作了较为透彻的评析及展望。

硅芯硅棒自动清洗设备的研制

通过分析硅芯硅棒清洗方式的现状,提出其自动清洗设备研制的必要,介绍了全自动硅芯硅棒清洗机的技术参数和工艺流程,详细分析了设备的结构设计,包括工艺清洗系统、传动系统、电气控制系统、排风系统、管路系统和设备主体等。

纯硅材料喇曼激光器及硅芯光纤的研究进展

硅材料在1.2～6.6μm波段有高透明和高喇曼增益的特性,易于在室温条件下激发出近中红外波段喇曼激光。详细阐述了硅激光的非线性转换效率的问题。介绍了采用纯硅材料作为增益介质的喇曼激光器的研究进展,并对研究现状进行了报道。预测硅芯光纤将作为新型大功率近中红外的喇曼激光器的增益介质。

多晶硅生产中硅芯氧化问题探究

改良西门子法生产多晶硅中硅芯是多晶硅生长的载体,硅芯氧化会降低多晶硅产品品质,硅芯氧化的产品对下游铸锭、直拉均有不同程度的影响。目前硅芯氧化是影响多晶硅产品质量的一大问题。分析了硅芯氧化机理,针对相关因素开展了试验,提出了降低硅芯氧化率的措施。

电子级多晶硅生产中硅芯杂质的来源

硅芯在制造过程中和在还原炉初期沉积过程中不同程度受到杂质的污染,本论文针对硅棒生长过程中硅芯部位杂质来源,从石墨部件、惰性气体、硅芯制备工艺、洁净操作等各个环节的杂质污染情况着手试验研究,找到电子级多晶硅硅芯杂质的主要来源。

硅芯塑管在光缆通信线路中的应用

目前,先进国家普遍采用硅芯塑管作为光缆通信干线及高速公路通信的管道。经多年实践证明,光缆通信管道化在保证通信质量、安全,提高建设施工速度,降低生产成本等诸方面都有不可比拟的优越性。

硅芯炉托盘控制系统的设计与实现

在介绍硅芯炉籽晶托盘构成及工作原理的基础上,重点介绍了以单片机Aduc812为控制核心的控制系统,并对控制系统硬件设计和软件设计进行了详细分析。